[實(shí)用新型]一種用于LPCVD設(shè)備真空管道系統(tǒng)的冷卻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201822001513.0
• 申請(qǐng)日: 2018-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209260199U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王錦;劉建華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南紅太陽(yáng)光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務(wù)所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長(zhǎng)清;戴玲

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于LPCVD設(shè)備真空管道系統(tǒng)的冷卻裝置，包括冷阱本體組件、進(jìn)水接頭和出水接頭，阱本體組件包括冷阱內(nèi)筒和冷阱外筒，冷阱內(nèi)筒與冷阱外筒之間形成封閉的環(huán)形冷卻腔，進(jìn)水接頭和出水接頭均與環(huán)形冷卻腔連通，環(huán)形冷卻腔內(nèi)沿周向依次設(shè)有一個(gè)隔水片和至少一個(gè)分水片，隔水片固定在冷阱內(nèi)筒與冷阱外筒的筒壁上，其兩端延伸至環(huán)形冷卻腔的兩端，進(jìn)水接頭和出水接頭分設(shè)于隔水片的兩側(cè)，分水片固定在冷阱內(nèi)筒與冷阱外筒的筒壁上，其一端延伸至環(huán)形冷卻腔的一端，另一端指向與環(huán)形冷卻腔的另一端且二者之間具有一定間隙，相鄰兩個(gè)分水片的指向相反。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、冷卻效果好的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及LPCVD設(shè)備的冷卻技術(shù)，尤其涉及一種用于LPCVD設(shè)備真空管道系統(tǒng)的冷卻裝置。

背景技術(shù)

LPCVD(低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備)是一種通過(guò)氣體的化學(xué)反應(yīng)生成固體反應(yīng)物，并使其淀積在硅片表面形成薄膜的工藝設(shè)備。由于其制備的薄膜具有質(zhì)量?jī)?yōu)異、均勻性好、產(chǎn)量高特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于微電子等行業(yè)中氧化硅、氮化硅和多晶硅等薄膜的制備。工作狀態(tài)下，LPCVD系統(tǒng)反應(yīng)室內(nèi)將積聚大量的尾氣熱量，而抽冷卻水用的泵由于往復(fù)工作，高溫?zé)崃繒?huì)對(duì)泵造成損壞，影響工作泵穩(wěn)定性。目前，大部分反應(yīng)室只通過(guò)常溫冷卻的辦法降低反應(yīng)室溫度，顯然，不能充分降低反應(yīng)室溫度。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、冷卻效果好的用于LPCVD設(shè)備真空管道系統(tǒng)的冷卻裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種用于LPCVD設(shè)備真空管道系統(tǒng)的冷卻裝置，包括冷阱本體組件、進(jìn)水接頭和出水接頭，所述冷阱本體組件包括冷阱內(nèi)筒和套于冷阱內(nèi)筒外的冷阱外筒，所述冷阱內(nèi)筒與冷阱外筒之間形成封閉的環(huán)形冷卻腔，所述進(jìn)水接頭和出水接頭均與環(huán)形冷卻腔連通，所述環(huán)形冷卻腔內(nèi)沿周向依次設(shè)有一個(gè)隔水片和至少一個(gè)分水片，所述隔水片固定在冷阱內(nèi)筒與冷阱外筒的筒壁上，其兩端延伸至環(huán)形冷卻腔的兩端，所述進(jìn)水接頭和出水接頭分設(shè)于隔水片的兩側(cè)，所述分水片固定在冷阱內(nèi)筒與冷阱外筒的筒壁上，其一端延伸至環(huán)形冷卻腔的一端，另一端指向與環(huán)形冷卻腔的另一端且二者之間具有一定間隙，相鄰兩個(gè)分水片的指向相反。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，優(yōu)選的，所述分水片設(shè)置三個(gè)，水流沿著分水片移動(dòng)形成S形水流。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，優(yōu)選的，所述進(jìn)水接頭和出水接頭均位于冷阱外筒的一端。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，優(yōu)選的，所述冷阱內(nèi)筒和冷阱外筒為不銹鋼筒。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，優(yōu)選的，所述進(jìn)水接頭和出水接頭均為直通擴(kuò)孔接頭。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，優(yōu)選的，所述環(huán)形冷卻腔的兩端均通過(guò)連接法蘭密封，所述連接法蘭與冷阱內(nèi)筒和冷阱外筒之間設(shè)有高性能密封圈。

作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，優(yōu)選的，所述冷阱本體組件的一端管壁上設(shè)有尾端接管法蘭組件，所述尾端接管法蘭組件由尾端法蘭接管和ISO80法蘭組成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：

本實(shí)用新型的用于LPCVD設(shè)備真空管道系統(tǒng)的冷卻裝置，通過(guò)設(shè)置冷阱內(nèi)筒和套于冷阱內(nèi)筒外的冷阱外筒，冷阱內(nèi)筒與冷阱外筒之間形成封閉的環(huán)形冷卻腔，進(jìn)水接頭和出水接頭均與環(huán)形冷卻腔連通，環(huán)形冷卻腔內(nèi)沿周向依次設(shè)有一個(gè)隔水片和三個(gè)分水片，隔水片和分水片將環(huán)形冷卻腔分成幾個(gè)條形格柵區(qū)，相鄰兩個(gè)格柵區(qū)首位連通，冷卻水從進(jìn)水口進(jìn)入后沿著分水片移動(dòng)形成S形水流，最后從出水口流出，分水片和隔水片合理的結(jié)構(gòu)布置，有效增大了冷卻水與環(huán)形冷卻腔熱交換的有效接觸面積，從而帶走LPCVD系統(tǒng)反應(yīng)室內(nèi)積聚的尾氣熱量，此外，該裝置僅冷阱內(nèi)筒冷阱外筒、進(jìn)水接頭和出水接頭幾個(gè)部件，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便的特點(diǎn)。