[實(shí)用新型]基板處理系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821998575.7
• 申請(qǐng)日: 2018-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209029340U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林世佳;馮傅彰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 辛耘企業(yè)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海弼興律師事務(wù)所 31283
• 代理人: 薛琦

1.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

一處理裝置，使用一處理液對(duì)一基板進(jìn)行處理；

一回收槽，用以容置該處理液；

一排液管路，連通于該回收槽，并用以將該回收槽內(nèi)的該處理液排出至一外部端；以及

一冷卻液供應(yīng)單元，連通于該排液管路，并用以供應(yīng)一冷卻液至該排液管路，以使該冷卻液與該處理液混合成一混合液，其中該排液管路用以將該混合液排出至該外部端。

2.如權(quán)利要求1所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括一連接該排液管路的溫度監(jiān)測(cè)單元，其用以監(jiān)測(cè)該排液管路內(nèi)流向該外部端的該混合液的一排液溫度，當(dāng)該溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該排液溫度大于一停止門(mén)檻值時(shí)，該排液管路停止排出該混合液至該外部端。

3.如權(quán)利要求2所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括一連接該回收槽的異常溫度監(jiān)測(cè)單元，其用以監(jiān)測(cè)該回收槽內(nèi)該處理液的溫度，而該冷卻液供應(yīng)單元更連通于該回收槽，當(dāng)該異常溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)的該處理液溫度大于或等于一異常溫度值時(shí)，該冷卻液供應(yīng)單元供應(yīng)該冷卻液至該回收槽內(nèi)的該處理液。

4.如權(quán)利要求3所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該異常溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)的該處理液溫度大于或等于該異常溫度值時(shí)，該溫度監(jiān)測(cè)單元停止監(jiān)測(cè)該排液溫度，且該排液管路將該回收槽內(nèi)的該處理液排出至該外部端。

5.如權(quán)利要求3所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括控制該冷卻液供應(yīng)單元供應(yīng)該冷卻液至該排液管路的流量以及該排液管路將該回收槽內(nèi)的該混合液排出的流量的兩者比值。

6.如權(quán)利要求3所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

一殼體，其中該回收槽與至少一部分該排液管路配置于該殼體內(nèi)；以及

一漏液偵測(cè)單元，連接該殼體，當(dāng)該漏液偵測(cè)單元偵測(cè)該殼體外出現(xiàn)漏液時(shí)，該排液管路停止排出該處理液至該外部端。

7.如權(quán)利要求3所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，還包括一排氣裝置，其連通于該回收槽，當(dāng)該異常溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)的該處理液溫度大于或等于該異常溫度值時(shí)，該排氣裝置對(duì)該回收槽進(jìn)行排氣。

8.如權(quán)利要求7所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)該處理液的溫度不大于或等于該異常溫度值時(shí)，該排氣裝置以一第一排氣量來(lái)排氣；

當(dāng)該溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)該處理液的溫度大于或等于該異常溫度值時(shí)，該排氣裝置以一第二排氣量來(lái)排氣，其中該第二排氣量大于該第一排氣量。

9.如權(quán)利要求7所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，該回收槽還包括一處理液容置區(qū)以及一氣體緩沖區(qū)，該處理液容置于該處理液容置區(qū)，而該處理液所產(chǎn)生的氣體釋放至該氣體緩沖區(qū)。

10.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，包括：

一處理裝置，使用一處理液對(duì)一基板進(jìn)行處理；

一回收槽，用以容置該處理液；

一溫度監(jiān)測(cè)單元，用以監(jiān)測(cè)該回收槽內(nèi)該處理液的溫度；

一排液管路，連通于該回收槽，并用以將該回收槽內(nèi)的該處理液排出至一外部端；

一排氣裝置，連通于該回收槽，并用以對(duì)該回收槽進(jìn)行排氣；以及

一冷卻液供應(yīng)單元，連通于該回收槽，并用以供應(yīng)一冷卻液；

其中當(dāng)該溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)的該處理液溫度大于或等于一異常溫度值時(shí)，該排氣裝置對(duì)該回收槽進(jìn)行排氣，而該冷卻液供應(yīng)單元供應(yīng)該冷卻液至該回收槽內(nèi)的該處理液，以使該冷卻液與該處理液混合成一混合液，該排液管路將該混合液排出至該外部端。

11.如權(quán)利要求10所述的基板處理系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)該處理液的溫度不大于或等于該異常溫度值時(shí)，該排氣裝置以一第一排氣量來(lái)排氣；

當(dāng)該溫度監(jiān)測(cè)單元監(jiān)測(cè)到該回收槽內(nèi)該處理液的溫度大于或等于該異常溫度值時(shí)，該排氣裝置以一第二排氣量來(lái)排氣，其中該第二排氣量大于該第一排氣量。