[實用新型]曲面反射鏡鍍膜校正板

有效

• 申請號: 201821997958.2
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN209481777U
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 劉洪濤;許斌;馬偉生;張博;武鵬
• 申請（專利權）人: 新鄉市百合光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/58;G02B1/10;G02B5/10
• 代理公司: 新鄉市平原智匯知識產權代理事務所(普通合伙) 41139
• 代理人: 林海

本實用新型公開了一種曲面反射鏡鍍膜校正板，其特征在于：支架對稱固定在鍍膜機腔體的蒸發源的上面，且支架一端與腔體固定，且支架另一端朝向鍍膜體腔體內外伸，所述支架上均勻開有多個用于安裝校正板的緊固螺孔，校正板的形狀呈魚骨狀，且魚骨狀的脊背面上加工有與支架相同的緊固孔并通過螺栓緊固，且魚骨狀兩側的魚翅剛好遮擋住鍍膜機腔體下面的蒸發源。本技術方案解決了曲面反射鏡在鍍膜時不均，從而提高鍍膜的合格率，提高產品質量。

技術領域

本實用新型涉及一種鍍膜校正板，特別適用于光學加工曲面反射鏡鍍膜時使用。

背景技術

目前，光學薄膜制作通常以物理蒸鍍法為主，該方法為將薄膜材料由固態轉化為氣態或離子態，氣態或離子態的材料由蒸發源穿越空間，抵達基板表面，材料抵達基板表面后，將沉淀而逐漸形成薄膜，現有的曲面反射鏡鍍膜是將其基板放入鍍膜機反扣在旋轉工件盤上，旋轉工件盤轉動，在轉動過程中蒸發源穿越空間抵達基板表面，完成鍍膜，由于曲面反射的形狀是拱形，在鍍膜過程中經常會出現膜層不均勻，進而使得鍍膜層均勻性難以保證，從而影響產品質量以及生產效率。

發明內容

本實用新型的任務是提出一種基板鍍膜時可以校正，鍍膜均勻，提高產品合格率的曲面反射鏡鍍膜校正板。

本實用新型的任務是這樣完成的，其特征在于：支架對稱固定在鍍膜機腔體的蒸發源的上面，且支架一端與腔體固定，且支架另一端朝向鍍膜體腔體內外伸，所述支架上均勻開有多個用于安裝校正板的緊固孔，校正板的形狀呈魚骨狀，且魚骨狀的脊背面上加工有與支架相同的緊固孔并通過螺栓緊固，且魚骨狀兩側的魚翅剛好遮擋住鍍膜機腔體下面的蒸發源。所述校正板的正反面包裹一層耐火金屬層，材質優選錫箔紙。曲面反射鏡旋轉于支架上固定的校正板位置時，由魚翅遮擋住蒸發源向曲面反射鏡兩側邊噴射膜料。

本實用新型具有以下效果：本技術方案解決了曲面反射鏡在鍍膜時不均，從而提高鍍膜的合格率，提高產品質量。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；圖2是校正板的結構示意圖。

圖面說明：1、鍍膜機腔體，2、蒸發源，3、支架，4、校正板，5、旋轉工件盤，6、電機，7、曲面反射鏡，8、魚骨狀，9、緊固螺孔，10、魚翅，11、耐火金屬層。

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。

具體實施例如圖1和圖2所示，本實施例中，在鍍膜中將曲面反射鏡扣放在旋轉工件盤上進行鍍膜，由于曲面反射鏡形狀呈拱形，曲面的中間部位和兩側邊在鍍膜時，蒸發源噴射膜料易出現厚度不均，從而造成反射率達不到均勻反射。

為此，本實施例中設計了支架和校正板，且支架對稱固定在鍍膜機腔體1的蒸發源2的上面，且支架3一端與腔體固定，且支架另一端朝向鍍膜體腔體內外伸，所述支架上均勻開有多個用于安裝校正板的緊固孔。

所述校正板4的形狀呈魚骨狀8，且魚骨狀的脊背上面加工有與支架相同的緊固螺孔9并通過螺栓緊固，且魚骨狀兩側的魚翅10剛好遮擋住鍍膜機腔體下面的蒸發源2，從而校正曲面反射鏡兩側邊鍍膜不均勻現象的產生。

所述校正板的正反面包裹一層耐火金屬層11，由于鍍膜時，蒸發源發射出的膜料易粘附在校正板的板面上，不易清洗，且鍍膜腔體里的溫度高達250°，用塑料包裹易溶化，本技術方案優選錫箔紙，耐高溫，方便更換。

綜上所知，本技術方案由支架3、校正板4、魚骨狀8、魚翅10、耐火金屬層11，克服了現有技術曲面反射鍍膜不均勻之缺陷。