[實用新型]激光切割設備及其激光光束整形裝置有效
| 申請號: | 201821996738.8 | 申請日: | 2018-11-30 |
| 公開(公告)號: | CN209148979U | 公開(公告)日: | 2019-07-23 |
| 發明(設計)人: | 陳暢;柳嘯;楊深明;李福海;高云峰 | 申請(專利權)人: | 大族激光科技產業集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G02B27/09 | 分類號: | G02B27/09;G02B27/42 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
| 地址: | 518051 廣東省深圳市南*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 橢圓形光斑 激光光束整形裝置 負透鏡 激光切割設備 衍射光學元件 正透鏡 本實用新型 光束聚焦 激光切割 聚焦鏡 整形 切割 聚焦 穿過 擴散 轉換 | ||
1.一種激光光束整形裝置,其特征在于,包括:
正透鏡,用于將光束聚焦整形為橢圓形光斑;
負透鏡,用于將所述橢圓形光斑擴散;
DOE衍射光學元件,位于所述負透鏡遠離所述正透鏡的一側,且用于將穿過所述負透鏡的橢圓形光斑轉換為至少兩個部分重疊或全部重疊的橢圓形光斑;及
聚焦鏡,位于所述DOE衍射光學元件遠離所述負透鏡的一側,且用于將所述至少兩個橢圓形光斑聚焦。
2.根據權利要求1所述的激光光束整形裝置,其特征在于,所述DOE衍射光學元件轉換出三個橢圓形光斑,三個所述橢圓形光斑沿所述DOE衍射光學元件的光軸間隔分布。
3.根據權利要求1所述的激光光束整形裝置,其特征在于,所述正透鏡、所述負透鏡和所述DOE衍射光學元件表面上設有增透膜,所述增透膜的波長為0.2μm~10.6μm。
4.根據權利要求1所述的激光光束整形裝置,其特征在于,所述正透鏡為凸面柱透鏡,所述負透鏡為凹面柱透鏡。
5.根據權利要求4所述的激光光束整形裝置,其特征在于,所述凸面柱透鏡底面的長度尺寸為20mm~35mm,寬度尺寸為20mm~30mm,所述凸面柱透鏡的邊緣厚度尺寸為3mm~4mm,中間厚度尺寸為4.5mm~6.5mm。
6.根據權利要求4所述的激光光束整形裝置,其特征在于,所述凹面柱透鏡底面的長度尺寸為20mm~35mm,寬度尺寸為20mm~30mm,所述凹面柱透鏡的邊緣厚度尺寸為6mm~8mm,中間厚度尺寸為4.5mm~5.5mm。
7.根據權利要求1所述的激光光束整形裝置,其特征在于,所述正透鏡沿光軸的焦距為f1,所述負透鏡沿光軸的焦距為f2,且滿足:-1.5<f1/f2<-3.5。
8.根據權利要求1所述的激光光束整形裝置,其特征在于,還包括鏡筒和滑軌,所述鏡筒內部中空且兩端均設有與內部連通的開口,兩個所述開口相對設置,所述滑軌設于所述鏡筒內,所述正透鏡、所述負透鏡和所述DOE衍射光學元件可滑動的設于所述滑軌上,所述聚焦鏡設于所述鏡筒內或所述開口外。
9.根據權利要求8所述的激光光束整形裝置,其特征在于,還包括螺旋測微器,所述螺旋測微器設于所述鏡筒內,并用于測量所述正透鏡、所述負透鏡和所述DOE衍射光學元件的滑動距離。
10.一種激光切割設備,其特征在于,包括:
激光器;
如權利要求1至9中任一項所述的激光光束整形裝置,用于將所述激光器發出的激光整形為至少兩個部分重疊或全部重疊的橢圓形光斑。
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