[實(shí)用新型]透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821995983.7
• 申請(qǐng)日: 2018-11-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209266349U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚軍;邰凱平;趙洋;康斯清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院金屬研究所
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20;H01J37/26
• 代理公司: 沈陽(yáng)優(yōu)普達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 張志偉

1.一種透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置，其特征在于，包括：樣品桿、轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管、帶套管密封法蘭、X-Y-Z三維滑臺(tái)、旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)和滑臺(tái)支架，具體結(jié)構(gòu)如下：

樣品桿的尾端直徑較樣品桿的其他部分直徑大，轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管固定在樣品桿的尾端外側(cè)，轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管內(nèi)壁與樣品桿間使用O型密封圈進(jìn)行真空密封；轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管置于帶套管密封法蘭的波紋管套管內(nèi)，轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管外壁使用O型密封圈與波紋管套管內(nèi)壁實(shí)現(xiàn)真空密封；帶套管密封法蘭為密封法蘭與波紋管套管組成，二者采用焊接的方式實(shí)現(xiàn)真空密封，密封法蘭與波紋管套管的中心孔相對(duì)應(yīng)；X-Y-Z三維滑臺(tái)通過(guò)滑臺(tái)支架固定在帶套管密封法蘭上，實(shí)現(xiàn)樣品的三維平動(dòng)和繞桿體軸線360°旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)、滑臺(tái)支架的左立板、帶套管密封法蘭的波紋管套管套裝于轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管上，密封法蘭固定在透射、掃描或者聚焦離子束電鏡主腔體內(nèi)壁。

2.按照權(quán)利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置，其特征在于，樣品桿的尾端外側(cè)開(kāi)設(shè)螺紋盲孔和溝槽，螺紋盲孔為兩個(gè)以上沿圓周方向均勻分布，溝槽沿圓周方向開(kāi)設(shè)，溝槽內(nèi)安裝O型密封圈。

3.按照權(quán)利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置，其特征在于，轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管為法蘭與套管的組合結(jié)構(gòu)，套管的外側(cè)開(kāi)設(shè)定位孔和外溝槽，定位孔為兩個(gè)以上沿圓周方向均勻分布，定位孔與螺紋盲孔一一對(duì)應(yīng)，螺栓穿設(shè)于定位孔和螺紋盲孔，使轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管與樣品桿的尾端連接；外溝槽沿圓周方向開(kāi)設(shè)，外溝槽內(nèi)安裝O型密封圈，波紋管套管內(nèi)壁開(kāi)設(shè)溝槽與外溝槽相對(duì)應(yīng)；套管的中心孔為具有臺(tái)階結(jié)構(gòu)的階梯孔，階梯孔中的大孔與樣品桿直徑較大的尾端配合，階梯孔中的小孔與樣品桿直徑較小的部分配合，階梯孔中的大孔壁沿圓周方向開(kāi)設(shè)內(nèi)溝槽，樣品桿的溝槽與內(nèi)溝槽相對(duì)應(yīng)，并通過(guò)接觸擠壓O型密封圈實(shí)現(xiàn)真空密封。

4.按照權(quán)利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置，其特征在于，轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管的一端伸至波紋管套管內(nèi)，轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管的套管外壁與波紋管套管通過(guò)O型密封圈進(jìn)行真空密封；波紋管套管的一端與滑臺(tái)支架連接，波紋管套管的另一端通過(guò)焊接的方式與密封法蘭的一端進(jìn)行組合，密封法蘭的另一端通過(guò)膠圈或金屬密封的方式與透射、掃描或者聚焦離子束電鏡的樣品艙側(cè)壁相連。

5.按照權(quán)利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置，其特征在于，滑臺(tái)支架包括兩個(gè)相對(duì)平行設(shè)置的立板：左立板和右立板，左立板和右立板通過(guò)螺絲釘或者焊接的方式分別與密封法蘭和波紋管套管進(jìn)行空間位置固定；其中，左立板上部與波紋管套管的端面連接，左立板與波紋管套管連接處的中心孔相對(duì)應(yīng)且直徑相同，右立板上部與密封法蘭連接。

6.按照權(quán)利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置，其特征在于，X-Y-Z三維滑臺(tái)通過(guò)螺絲釘固定的方式固定在滑臺(tái)支架兩個(gè)立板下部之間。

7.按照權(quán)利要求1所述的透射、掃描和聚焦離子束電鏡通用樣品桿及轉(zhuǎn)接裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)套裝于轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管的套管上，其一端與轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管的法蘭靠接；旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)的另一端與滑臺(tái)支架的一端靠接，使旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)位于滑臺(tái)支架和轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管之間，通過(guò)操作旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)接密封帶法蘭套管進(jìn)行360°的繞軸旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)樣品桿的轉(zhuǎn)動(dòng)。