[實用新型]一種冷阱及鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201821995139.4
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN209317082U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 徐義;岳志遠
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: B01D8/00
• 分類號: B01D8/00;C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李海建

本實用新型公開了一種冷阱及鍍膜裝置，其中，所述冷阱包括密封腔室、冷卻機構和等離子體粉塵吸附裝置。本方案提供的冷阱，設置有冷卻機構和等離子體粉塵吸附裝置，等離子體粉塵吸附裝置的等離子體極板能夠吸附蒸鍍氣體中的大部分蒸鍍物質，尤其是蒸鍍物質中的硒化物，冷卻機構不僅能夠吸收蒸鍍氣體中的熱量而且能夠吸附蒸鍍氣體中的蒸鍍物質，等離子體粉塵吸附裝置與冷卻機構配合，實現對蒸鍍氣體中蒸鍍物質的有效吸附，減少進入真空系統的蒸鍍物質的量，降低蒸鍍物質對后序真空系統的影響。

技術領域

本實用新型涉及新能源技術領域，特別涉及一種冷阱及具有冷阱的鍍膜裝置。

背景技術

阱(又稱捕集器)是一種用物理或者化學的方法來降低氣體和蒸汽混合物中有害成分分壓的裝置。冷阱是一種冷卻處理裝置，用來收集某一熔點范圍內的物質。

CIGS(太陽能薄膜電池)的冷阱位于蒸鍍室與真空泵之間，冷阱不僅能夠吸收蒸鍍室產生的蒸鍍氣體中的熱量，而且能夠吸附蒸鍍室產生的蒸鍍氣體中的硒化物等蒸鍍物質。

現有技術中，冷阱對蒸鍍室產生的蒸鍍氣體的硒化物等蒸鍍物質的吸附能力有限，在真空泵的尾排管中仍然能夠檢測到硒化物等蒸鍍物質，硒化物等蒸鍍物質進入真空系統會對后續真空系統產生影響。

因此，如何提高冷阱對蒸鍍氣體的蒸鍍物質的吸附效果，降低蒸鍍物質對后序真空系統的影響，成為本領域技術人員亟待解決的技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種冷阱，以提高冷阱對蒸鍍物質的吸附效果。本實用新型還提供了一種鍍膜裝置。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種冷阱，其特征在于，包括：

供蒸鍍室內的蒸鍍氣體通過的密封腔室，所述密封腔室的進氣端與所述蒸鍍室連通，所述密封腔室的出氣端與真空泵連通；

冷卻機構，所述冷卻機構包括至少一級冷卻盤管，所述至少一級冷卻盤管設置在所述密封腔室內，所述冷卻機構用于吸收蒸鍍氣體中的熱量并吸附蒸鍍氣體中的蒸鍍物質；以及

等離子體粉塵吸附裝置，所述等離子體粉塵吸附裝置包括設置在所述密封腔室內的等離子體極板和設置在所述密封腔室外的等離子體電源，所述等離子體極板用于吸附所述蒸鍍氣體中的蒸鍍物質；

其中，所述蒸鍍物質包括粉塵和/或有害物質。

優選的，在上述冷阱中，所述至少一級冷卻盤管包括第一級冷卻盤管，所述第一級冷卻盤管設置在所述密封腔室內的進氣端，所述等離子體極板設置在所述密封腔室內的出氣端。

優選的，在上述冷阱中，所述至少一級冷卻盤管包括串聯或并聯的第一級冷卻盤管和第二級冷卻盤管，所述第一級冷卻盤管設置在所述密封腔室內的進氣端，所述第二級冷卻盤管設置在所述密封腔室內的出氣端，所述等離子體極板設置在所述密封腔室內第一級冷卻盤管和第二級冷卻盤管之間。

優選的，在上述冷阱中，所述冷卻機構還包括設置在所述密封腔室外的冷卻機；

所述第一級冷卻盤管和所述第二級冷卻盤管串聯，所述第一級冷卻盤管的入口端通過第一冷卻循環管與所述冷卻機的出口端相連，所述第二級冷卻盤管的入口端通過第二冷卻循環管與所述第一級冷卻盤管的出口端相連，所述第二級冷卻盤管的出口端通過第三冷卻循環管與所述冷卻機的入口端相連；

或者，

所述第一級冷卻盤管與所述第二級冷卻盤管并聯，所述第一級冷卻盤管的入口端通過第四冷卻循環管與所述冷卻機的出口端相連，所述第一級冷卻盤管的出口端通過第五冷卻循環管與所述冷卻機的入口端相連，所述第二級冷卻盤管的入口端通過第六冷卻循環管與所述冷卻機的出口端相連，所述第二級冷卻盤管的出口端通過第七冷卻循環管與所述冷卻機的入口端相連。