[實(shí)用新型]氣體混合設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821979457.1
• 申請(qǐng)日: 2018-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN209490704U
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李國強(qiáng);林宗賢;吳孝哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B01F5/06
• 分類號(hào): B01F5/06;B01F3/02
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

1.一種氣體混合設(shè)備，其特征在于，包括：

腔體，用于進(jìn)行氣體的混合；

壓力控制器，連通至所述腔體，用于調(diào)控腔體內(nèi)的壓力；

溫控單元，包括加熱套，安裝至所述腔體，用于調(diào)控腔體內(nèi)的溫度；

至少兩塊導(dǎo)流板，卡設(shè)于所述腔體內(nèi)，設(shè)置在所述腔體的入口和出口之間，將所述腔體的入口和出口隔開；

所述導(dǎo)流板設(shè)置有通孔，用于供待混合的氣體通過，連通所述腔體的入口和出口，且各導(dǎo)流板相對(duì)設(shè)置，每一導(dǎo)流板對(duì)應(yīng)導(dǎo)流一種待混合的氣體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合設(shè)備，其特征在于，所述通孔的個(gè)數(shù)為多個(gè)，均勻分布于所述導(dǎo)流板的表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合設(shè)備，其特征在于，還包括：

隔板，設(shè)置在所述導(dǎo)流板和所述腔體的出口之間，卡設(shè)于所述腔體內(nèi)，用于隔擋流經(jīng)兩塊導(dǎo)流板后的氣體，防止流經(jīng)兩塊導(dǎo)流板后的氣體經(jīng)由所述腔體的出口直接輸出；

氣體擴(kuò)散器，安裝至所述隔板，設(shè)置有氣體擴(kuò)散孔，用于供流經(jīng)兩塊導(dǎo)流板后的氣體流入至所述隔板另一側(cè)，經(jīng)由所述腔體的出口輸出。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合設(shè)備，其特征在于，還包括：

氣體管道，具有朝向所述導(dǎo)流板設(shè)置的管道口，用于朝向所述導(dǎo)流板噴出待混合的氣體，使待混合的氣體通過所述導(dǎo)流板上的通孔流出；

每一種待混合的氣體對(duì)應(yīng)一氣體管道；

每一氣體管道用于將一種待混合的氣體噴出至一導(dǎo)流板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體混合設(shè)備，其特征在于，還包括：

第一質(zhì)量流量控制器，設(shè)置于所述氣體管道上，用于控制自所述氣體管道流入至所述導(dǎo)流板的待混合的氣體的流量。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合設(shè)備，其特征在于，所述加熱套套設(shè)于所述腔體的外表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合設(shè)備，其特征在于，還包括：

混合氣體輸出管，連通至所述腔體的出口，用于向所述氣體混合設(shè)備外輸出混合氣體；

第二質(zhì)量流量控制器，設(shè)置于混合氣體輸出管上，用于控制所述混合氣體輸出管向外輸出的混合氣體的流量。