[實用新型]一種基于聲表面波和空腔型薄膜體聲波組合諧振器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821978680.4
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN208608966U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權）人: 杭州左藍微電子技術有限公司
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H9/25;H03H3/02;H03H3/08
• 代理公司: 北京中知法苑知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11226
• 代理人: 李明

1.一種基于聲表面波和空腔型薄膜體聲波組合諧振器，其特征在于，所述組合諧振器包括依次堆疊的壓電材料基板、金屬叉指、溫度補償層、壓電單元；其中所述金屬叉指形成在所述壓電材料基板上方，所述溫度補償層覆蓋所述金屬叉指，所述溫度補償層上表面開有空腔且所述空腔上表面完全被壓電單元所覆蓋，所述壓電單元形成在所述溫度補償層上方，所述壓電單元包括第一電極、壓電層、第二電極所形成的堆棧結構，其中所述第一電極設置在所述空腔上方且完全覆蓋所述空腔。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種基于聲表面波和空腔型薄膜體聲波組合諧振器，其特征在于，所述壓電材料基板所使用的材質(zhì)為鈮酸鋰、鉭酸鋰、氮化鋁、氧化鋅。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種基于聲表面波和空腔型薄膜體聲波組合諧振器，其特征在于，所述金屬叉指所使用的材質(zhì)為鋁、鈦、銅、鉻、銀，和/或所述溫度補償層所使用的材質(zhì)為二氧化硅。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種基于聲表面波和空腔型薄膜體聲波組合諧振器，其特征在于，所述壓電層所使用的材質(zhì)為氮化鋁(AlN)、氧化鋅(ZnO)、鈮酸鋰(LiNbO3)、鉭酸鋰(LiTaO3)。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種基于聲表面波和空腔型薄膜體聲波組合諧振器，其特征在于，所述第二電極包括金屬區(qū)域、過渡區(qū)域和介電區(qū)域，金屬區(qū)域與壓電層、第一電極構成第一壓電區(qū)，過渡區(qū)域與壓電層、第一電極構成第二壓電區(qū)，介電區(qū)域與壓電層、第二電極構成第三壓電區(qū)，金屬區(qū)域與過渡區(qū)域的質(zhì)量差、過渡區(qū)域與介電區(qū)域的質(zhì)量差的和值被選擇為適于降低從組合諧振器發(fā)出的聲波輻射所導致的能量損耗。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種基于聲表面波和空腔型薄膜體聲波組合諧振器，其特征在于，所述金屬區(qū)域與過渡區(qū)域的質(zhì)量差異為2％到3％，過渡區(qū)域與介電區(qū)域的質(zhì)量差為1％到15％。