[實用新型]高溫真空蒸發離化鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201821977650.1
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN210261963U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 莫申波;周衛星
• 申請（專利權）人: 合肥如一真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 合肥和瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 34118
• 代理人: 王挺

1.高溫真空蒸發離化鍍膜裝置，包括高溫真空密閉的爐體(1)，設于爐體(1)內部的蒸發源(2)，電子射出端伸入爐體(1)內部的電子槍(3)，其特征在于：所述電子槍(3)發射出的電子束射入蒸發源內使得鍍層金屬蒸發；所述電子槍(3)包括金屬套管(31)與可自持放電的中空鉭管(32)；所述中空鉭管(32)一端與金屬套管(31)端部導通連接，另一端用于射出電子束；所述中空鉭管(32)與金屬套管(31)之間還設置有導通連接兩者的固定鎖母(37)；所述金屬套管(31)進氣口處插設有用于通入工作氣體的氣體通管(33)；所述蒸發源(2)與電子槍(3)分別與電源的正極、負極電性連接。

2.根據權利要求1所述的高溫真空蒸發離化鍍膜裝置，其特征在于：所述金屬套管(31)還設置有用于對氣體通管(33)進行冷卻的冷卻回路(34)；所述蒸發源(2)底部設置有水冷回路。

3.根據權利要求1所述的高溫真空蒸發離化鍍膜裝置，其特征在于：所述金屬套管(31)的管身套設有用于與爐體(1)絕緣的絕緣套管(35)，金屬套管(31)的端部設有與金屬套管(31)不相接觸的保護套(36)；所述保護套(36)與金屬套管(31)間設有連接兩者用于防止兩者短接的陶瓷絕緣子(38)。

4.根據權利要求3所述的高溫真空蒸發離化鍍膜裝置，其特征在于：所述保護套(36)為一端密封的筒狀，套設在金屬套管(31)位于爐體(1)內部一端，保護套(36)于開口處與絕緣套管(35)封接。

5.根據權利要求3所述的高溫真空蒸發離化鍍膜裝置，其特征在于：所述金屬套管(31)為銅制材料；所述氣體通管(33)為銅制材料；所述蒸發源(2)為裝載有至少一種鍍層金屬的坩堝(21)；所述絕緣套管(35)為玻璃管；所述保護套(36)為銅制材料；所述固定鎖母(37)為鉬金屬材料。

6.根據權利要求5所述的高溫真空蒸發離化鍍膜裝置，其特征在于：所述坩堝(21)設置有至少一個用于放置鍍層金屬的凹槽；自持放電后的所述中空鉭管(32)射出電子束的一端指向任意一個凹槽；所述坩堝(21)底部設有一端延伸出爐體(1)外的轉軸(22)；所述轉軸(22)或是坩堝(21)與電源的正極連接。