[實(shí)用新型]一種方便更換砂輪的硅片修復(fù)機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821976994.0
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN209140595U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王軍
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興斯密斯機(jī)械設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B24B19/22
• 分類號(hào): B24B19/22;B24B45/00;B24B47/12;B24B41/02
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11548
• 代理人: 李靜

本實(shí)用新型公開了一種方便更換砂輪的硅片修復(fù)機(jī)，包括柜體，所述柜體的頂部靠近后側(cè)處固定連接有固定板，所述固定板的前壁靠近左側(cè)處安裝有控制面板，所述柜體的頂部靠近右側(cè)處固定連接有盒體，且所述盒體的后壁與固定板的前壁固定連接，所述盒體的頂部通過合頁固定連接有頂板，所述盒體的右側(cè)通過合頁活動(dòng)連接有活動(dòng)門，所述柜體的底部四角處分別固定連接有支撐柱，所述盒體內(nèi)水平設(shè)置有活動(dòng)板，所述活動(dòng)板左右兩側(cè)靠近前側(cè)和后側(cè)處分別開設(shè)有滑孔，且滑孔內(nèi)套設(shè)有第一滑桿，所述第一滑桿的左右兩端分別穿過滑孔，并延伸到滑孔外與盒體的內(nèi)壁固定連接。本實(shí)用新型通過一系列的結(jié)構(gòu)使得本裝置具有更換方便和修復(fù)徹底等特點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片修復(fù)機(jī)，尤其涉及一種方便更換砂輪的硅片修復(fù)機(jī)。

背景技術(shù)

硅片修復(fù)機(jī)，廣泛用于硅片研磨、硅片拋光、鋅合金研磨拋光、光扦接頭、不銹鋼平面拋光、LED藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、諸片、模具、導(dǎo)光板等各種材料的單面研磨、拋光和修復(fù)，修復(fù)機(jī)為精密研磨拋光設(shè)備，修正輪帶動(dòng)工件自轉(zhuǎn)，重力加壓的方式對工件施壓，硅片與砂輪作相對運(yùn)轉(zhuǎn)磨擦，來達(dá)到研磨、拋光和修復(fù)目的。

目前，市場上硅片修復(fù)機(jī)用砂輪在使用時(shí)存在更換不方便和修復(fù)不徹底等缺點(diǎn)，大大的降低了工作效率，不方便使用。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的之一在于提供一種方便更換砂輪的硅片修復(fù)機(jī)。

本實(shí)用新型的目的之一采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種方便更換砂輪的硅片修復(fù)機(jī)，包括柜體，所述柜體的頂部靠近后側(cè)處固定連接有固定板，所述固定板的前壁靠近左側(cè)處安裝有控制面板，所述柜體的頂部靠近右側(cè)處固定連接有盒體，且所述盒體的后壁與固定板的前壁固定連接，所述盒體的頂部通過合頁固定連接有頂板，所述盒體的右側(cè)通過合頁活動(dòng)連接有活動(dòng)門，所述柜體的底部四角處分別固定連接有支撐柱，所述盒體內(nèi)水平設(shè)置有活動(dòng)板，所述活動(dòng)板左右兩側(cè)靠近前側(cè)和后側(cè)處分別開設(shè)有滑孔，且滑孔內(nèi)套設(shè)有第一滑桿，所述第一滑桿的左右兩端分別穿過滑孔，并延伸到滑孔外與盒體的內(nèi)壁固定連接，所述活動(dòng)板的頂部放置與U形放置板，所述U形放置板內(nèi)設(shè)置有蓋板，所述活動(dòng)板的頂部靠近兩側(cè)處分別固定連接有氣缸，所述氣缸上安裝有伸縮桿，所述伸縮桿的頂端固定連接有與蓋板相匹配的擠壓塊，所述U形放置板上固定連接有限位桿，且所述蓋板上開設(shè)有與限位桿相匹配的通孔，所述盒體的右側(cè)內(nèi)壁上固定連接有第一電動(dòng)伸縮桿，所述第一電動(dòng)伸縮桿的左端與活動(dòng)板的左側(cè)側(cè)壁固定連接，所述U形放置板的后側(cè)設(shè)置有砂輪，所述盒體的后側(cè)內(nèi)壁靠近兩側(cè)處分別固定連接有豎板，兩個(gè)所述豎板之間設(shè)置有活動(dòng)塊，所述活動(dòng)塊開設(shè)有滑孔，且滑孔內(nèi)套設(shè)有第二滑桿，所述第二滑桿的左右兩端分別穿過滑孔與兩個(gè)豎板的側(cè)壁固定連接，所述砂輪與活動(dòng)塊的前壁固定連接。

進(jìn)一步的，所述活動(dòng)塊的前側(cè)靠近左右兩側(cè)處分別設(shè)置有連接板，所述活動(dòng)塊的前壁靠近兩側(cè)處分別固定連接有第二電動(dòng)伸縮桿，兩個(gè)所述第二電動(dòng)伸縮桿的前端分別與兩個(gè)連接板的后壁固定連接，所述連接板的后壁與第二電動(dòng)伸縮桿相遠(yuǎn)離處固定連接有豎桿，所述活動(dòng)塊的前側(cè)設(shè)置有安裝板，所述豎桿的后端與安裝板的后壁固定連接，所述砂輪的后壁上固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述安裝板的前壁上安裝有第一電機(jī)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的后端上開設(shè)有與第一電機(jī)輸出軸相匹配的安裝槽，所述連接板的后壁靠近第二電動(dòng)伸縮桿的一側(cè)處固定連接有L形板，所述L形板與豎桿相對的側(cè)壁上固定連接有伸縮氣囊，所述L形板的前壁上安裝有氣泵，所述氣泵的出氣口上套接有L形充氣管，所述L形充氣管的前端與伸縮氣囊的后壁固定連接，所述伸縮氣囊與L形板相遠(yuǎn)離的一側(cè)固定連接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板與伸縮氣囊相遠(yuǎn)離的側(cè)壁上固定連接有兩個(gè)插桿，所述豎桿和轉(zhuǎn)動(dòng)軸的側(cè)壁上分別開設(shè)有與插桿相匹配的通孔，且插桿穿過通孔并延伸到安裝槽內(nèi)，所述第一電機(jī)輸出軸的側(cè)壁上開設(shè)有與插桿相匹配的插槽。