[實用新型]一種用于液體顆粒測試的適配裝置

有效

• 申請號: 201821974600.8
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN209231163U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 張太友
• 申請（專利權）人: 音速科技（無錫）有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

本實用新型公開了一種用于液體顆粒測試的適配裝置，包括底座、底盤、底板和固定罩，所述底座的中心設置有伸縮桿，且伸縮桿的上支撐有底盤，所述底盤內上設置有底板，且底板的上端面固定有轉臺，所述轉臺的中心設置有圓桿，所述固定罩上套置有圓桿，所述六組第二凹槽上分別放置有第一液體容器、第二液體容器、第三液體容器、第四液體容器、第五液體容器和第六液體容器，且第一液體容器側面上設置有導管。該用于液體顆粒測試的適配裝置，整體結構設置更加合理，設置方便進行轉動的轉臺，便于不斷更換不同液體容器進行測試，避免不必要復雜過程，減輕工作人員的負擔，節省測試工作時間，提高工作效率，加速測試。

技術領域

本實用新型涉及液體顆粒測試設備技術領域，具體為一種用于液體顆粒測試的適配裝置。

背景技術

在半導體器件的生產過程中，顆粒對產品良率影響重大，其中，化學品中的顆粒由于直接參與器件的制造，對產品的影響更是重中之重，然而，半導體行業所使用的化學品大多數屬于強酸液體或強堿液體，具有高粘度和高揮發性等特點，這使得對這些化學品中顆粒的測量變得特別困難，針對化學品中顆粒的監測，現有的測試方法主要包括兩種：第一種是對不同的化學品進行現場取樣，然后將樣品帶到液體顆粒計數器處進行測量；第二種是將液體顆粒計數器完全接入待測試化學品系統，實現在線監測，但不論是哪種方法，都需要液體容器進行一一裝入，并帶入實驗室進行逐一測試，中間的液體現場取樣之后，還需要一個一個液體溶器拿過去進行液體顆粒計數器測量，非常浪費時間，還很繁瑣，容易混亂。

為了解決以上所提出的液體顆粒測試設備所存在的缺陷和不足，急需改善液體顆粒測試設備的技術，設置方便將不同液體一次進行測試，避免不必要的工作程序，減輕工作人員的負擔，節省工作時間，提高測試工作效率，從而提供一種用于液體顆粒測試的適配裝置。

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題在于克服現有技術的液體顆粒測試設備無論是現場取樣進行測試還是將液體顆粒計數器完全接入待測試化學品系統，實現在線監測，都需要液體容器進行一一裝入，并帶入實驗室進行逐一測試，中間的液體現場取樣之后，還需要一個一個液體溶器拿過去進行液體顆粒計數器測量，非常浪費時間，還很繁瑣，造成容易混亂缺陷，提供一種用于液體顆粒測試的適配裝置。所述一種用于液體顆粒測試的適配裝置具有方便將不同液體一次進行測試，避免不必要的工作程序，減輕工作人員的負擔，節省工作時間，提高測試工作效率等特點。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于液體顆粒測試的適配裝置，包括底座、底盤、底板和固定罩，所述底座的中心設置有伸縮桿，且伸縮桿的上支撐有底盤，所述底盤內上設置有底板，且底板的上端面固定有轉臺，所述轉臺的中心設置有圓桿，且轉臺的環邊上設置有防護罩，所述固定罩上套置有圓桿，且圓桿的外圈環設有六組第二凹槽，所述六組第二凹槽上分別放置有第一液體容器、第二液體容器、第三液體容器、第四液體容器、第五液體容器和第六液體容器，且第一液體容器側面上設置有導管，所述第一液體容器的上端開設有容器口，且容器口上套置有外罩。

優選的，所述底座采用梯形臺框架結構，且底座中心的伸縮桿在Z軸上為可伸縮結構，在伸縮桿未進行伸縮時，主要通過底座進行支撐轉臺，在需要進行高度調整時，利用伸縮桿方便進行調整轉臺的高度。

優選的，所述底盤內開設有第一凹槽，且底板的下端面環設有一圈滾珠，同時滾珠與第一凹槽正好相接觸，通過轉動滾珠從而達到轉動轉臺的目的，便于轉動轉臺上液體容器的位置，方便不同液體同時進行檢測，加快檢測速度，提高效率。

優選的，所述底板通過滾珠構成可轉動結構，且底板的轉動角度任意，方向任意轉動，更加方便工人人員的工作進行。

優選的，所述轉臺采用圓形平臺結構，且轉臺和防護罩均采用硼硅玻璃材質，以硼硅玻璃材質的容器作為液體容器，具有化學穩定性好、熱穩定性高、電絕緣性好。