[實用新型]基板承載結構和減壓干燥設備

有效

• 申請號: 201821974067.5
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN209131335U
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發明（設計）人: 羅秋園;王旭升
• 申請（專利權）人: 廣東聚華印刷顯示技術有限公司
• 主分類號: F26B15/20
• 分類號: F26B15/20;F26B25/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 林青中

1.一種基板承載結構，其特征在于，包括承載板、支撐柱及重錘塊，所述支撐柱包括支撐柱主體和支撐部，所述支撐柱主體活動穿設于所述承載板上，所述支撐柱主體的一端設有所述支撐部，所述支撐柱主體的另一端與所述重錘塊連接，以使所述承載板可在所述支撐部和所述重錘塊之間移動。

2.根據權利要求1所述的基板承載結構，其特征在于，所述重錘塊的質量是所述支撐柱的質量的9～11倍。

3.根據權利要求1所述的基板承載結構，其特征在于，所述重錘塊的形狀為圓柱體，半徑為10mm～20mm，高度為30mm～50mm。

4.根據權利要求3所述的基板承載結構，其特征在于，所述支撐柱主體的形狀為圓柱體，半徑為1mm～3mm，所述支撐柱主體的高度與所述重錘塊的高度的比為(2～3):1。

5.根據權利要求1所述的基板承載結構，其特征在于，所述承載板靠近所述支撐部的一面設有容納槽，所述支撐部可收容于所述容納槽內。

6.根據權利要求1所述的基板承載結構，其特征在于，所述支撐柱主體與所述承載板相互垂直。

7.根據權利要求1所述的基板承載結構，其特征在于，所述支撐柱的數量為多個，多個所述支撐柱平行間隔設置。

8.根據權利要求1所述的基板承載結構，其特征在于，多個所述支撐柱沿所述承載板的邊緣間隔分布。

9.一種減壓干燥設備，其特征在于，包括干燥室、驅動件和權利要求1～8任一項所述的基板承載結構，所述基板承載結構設于所述干燥室內，所述重錘塊位于所述承載板的下方，所述驅動件用于驅動所述承載板在所述干燥室內上升或下降，以使所述承載板在所述支撐部和所述重錘塊之間移動或在所述承載板與所述支撐部抵接時帶動所述承載板、所述支撐柱及所述重錘塊同步運動。

10.根據權利要求9所述的減壓干燥設備，其特征在于，還包括冷凝板，所述冷凝板設于所述干燥室內且與所述承載板間隔相對設置。