[實(shí)用新型]泵拆裝治具以及半導(dǎo)體工藝設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821973615.2
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN209140822U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張大龍;麥永業(yè);劉希飛;劉家樺
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B25B27/14
• 分類號: B25B27/14;H01L21/67
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種泵拆裝治具，其特征在于，包括：

用于固定泵的固定裝置；

用于監(jiān)測所述泵和一工藝腔體間的相對位置的位置檢測裝置，所述位置檢測裝置安裝在所述工藝腔體一側(cè)和/或所述固定裝置一側(cè)；

用于帶動所述固定裝置在水平方向和垂直方向上移動的移動裝置，所述移動裝置的一端連接所述固定裝置；以及，

用于驅(qū)動所述移動裝置移動的電機(jī)，所述電機(jī)連接所述移動裝置的另一端。

2.如權(quán)利要求1所述的泵拆裝治具，其特征在于，所述固定裝置具有固定所述泵的凹槽結(jié)構(gòu)或夾持部件。

3.如權(quán)利要求2所述的泵拆裝治具，其特征在于，所述固定裝置具有一用于承載所述泵的承載平臺，所述凹槽結(jié)構(gòu)或夾持部件設(shè)置于所述承載平臺上。

4.如權(quán)利要求1所述的泵拆裝治具，其特征在于，所述位置檢測裝置包括第一位置傳感器和第二位置傳感器，所述第一位置傳感器安裝在所述固定裝置面向所述工藝腔體的一側(cè)上，所述第二位置傳感器安裝在所述工藝腔體下方且位于所述泵的安裝位置以外的部件面向所述固定裝置的側(cè)壁上。

5.如權(quán)利要求4所述的泵拆裝治具，其特征在于，所述第一位置傳感器和第二位置傳感器具有紅外發(fā)射器或激光發(fā)射器。

6.如權(quán)利要求1所述的泵拆裝治具，其特征在于，所述電機(jī)包括伺服電機(jī)。

7.如權(quán)利要求1所述的泵拆裝治具，其特征在于，還包括控制面板，所述控制面板與所述電機(jī)和所述位置檢測裝置電連接。

8.如權(quán)利要求7所述的泵拆裝治具，其特征在于，還包括報警裝置，所述報警裝置與所述控制面板電連接。

9.如權(quán)利要求1至8中任一項所述的泵拆裝治具，其特征在于，還包括可移動的支撐裝置，所述電機(jī)和所述移動裝置設(shè)置于所述支撐裝置上，且所述電機(jī)驅(qū)動所述移動裝置相對所述支撐裝置運(yùn)動。

10.一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其特征在于，包括：加工機(jī)臺以及采用權(quán)利要求1至9中任一項所述的泵拆裝治具安裝的所述泵；所述加工機(jī)臺具有工藝腔體、連接固定在所述工藝腔體底部的鐘擺閥，以及用于固定所述鐘擺閥的卡槽，所述卡槽設(shè)置于所述鐘擺閥的兩側(cè)，所述泵連接在所述鐘擺閥的底部。