[實用新型]機械手臂

有效

• 申請號: 201821973150.0
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN208954962U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 劉大威;吳孝哲;林宗賢;吳龍江;薛超
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687;H01L21/68
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;陳麗麗

1.一種機械手臂，包括末端承載部，其特征在于，還包括：

吸盤，位于所述末端承載部上，用于吸附并承載晶圓；

驅動器，連接所述吸盤，用于驅動所述吸盤自轉；

對準結構，位于所述末端承載部的端部，用于檢測所述晶圓邊緣的缺口位置。

2.根據權利要求1所述的機械手臂，其特征在于，所述末端承載部包括基板以及凸設于所述基板相對兩端的第一凸塊和第二凸塊；所述吸盤位于所述第一凸塊和第二凸塊之間，所述第一凸塊與所述第二凸塊均用于承載所述晶圓的邊緣。

3.根據權利要求2所述的機械手臂，其特征在于，還包括用于驅動所述末端承載部運動的連接臂；所述末端承載部包括與所述連接臂連接的尾端以及與所述尾端相對的前端；所述第一凸塊位于所述前端，所述第二凸塊位于所述尾端。

4.根據權利要求3所述的機械手臂，其特征在于，所述吸盤包括用于承載所述晶圓的第一表面以及與所述第一表面相對的第二表面；所述驅動器與所述吸盤的第二表面連接，用于驅動所述吸盤沿豎直方向進行升降運動，使得所述晶圓與所述第一凸塊和所述第二凸塊之間均具有一間隙。

5.根據權利要求4所述的機械手臂，其特征在于，所述對準結構包括支撐部、發射部和接收部；所述支撐部與所述第二凸塊背離所述吸盤的端部連接，且所述支撐部沿豎直方向凸出于所述第二凸塊；所述發射部設置于所述第二凸塊的上表面，且能夠沿水平方向伸出所述支撐部，用于沿豎直方向向所述第二凸塊發射光信號；所述接收部位于所述第二凸塊內或第二凸塊正下方，用于檢測是否接收到所述發射部發射的光信號，若是，則確定與所述接收部對應的晶圓位置具有缺口。

6.根據權利要求5所述的機械手臂，其特征在于，還包括沿豎直方向貫穿所述第二凸塊與所述基板的通孔；所述接收部設置于所述基板背離所述第二凸塊的表面，且與所述通孔的位置對應設置。

7.根據權利要求5所述的機械手臂，其特征在于，所述發射部為激光發射部。

8.根據權利要求4所述的機械手臂，其特征在于，所述驅動器包括馬達，所述馬達的中軸連接所述吸盤，以驅動所述吸盤自轉。

9.根據權利要求8所述的機械手臂，其特征在于，還包括設置于所述吸盤的第二表面上的硬磁膜，所述硬磁膜用于與所述馬達中的電磁感應線圈作用，以驅動所述吸盤沿豎直方向升降運動。

10.根據權利要求1所述的機械手臂，其特征在于，還包括多個環繞所述末端承載部的邊緣設置的夾具，用于固定所述晶圓。