[實用新型]一種便于操作的離子濺射儀

有效

• 申請號: 201821970108.3
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN209178469U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 皮曉宇
• 申請（專利權）人: 上海歐波同儀器有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種便于操作的離子濺射儀，包括工作臺(1)，其特征在于，所述工作臺(1)頂部外壁分別放置有離子濺射儀本體(12)和真空泵(3)，所述真空泵(3)頂部外壁開有圓孔，且圓孔內插接有氣壓表(4)，所述真空泵(3)一側內壁插接有真空管(2)，且真空管(2)一端插接有真空管轉接頭(6)，所述真空管轉接頭(6)兩側外壁均粘貼有密封墊(5)，所述離子濺射儀本體(12)頂部外壁設置有玻璃樣品室(9)，且玻璃樣品室(9)頂部外壁設置有固定板(10)，所述玻璃樣品室(9)底部內壁設有保護殼(16)，且保護殼(16)底部內壁設置有電機(15)，所述電機(15)輸出軸的一端外壁設置有轉動桿(18)，且轉動桿(18)外壁套接有聯軸器(17)，所述轉動桿(18)遠離電機(15)輸出軸的一端外壁設置有放置板(19)，所述放置板(19)頂部外壁設置有固定桿，所述固定桿頂部外壁開有凹槽，且凹槽底部內壁轉動連接有轉軸(22)，所述轉軸(22)頂部外壁設置有樣品盒(14)，所述放置板(19)頂部外壁設置有電動伸縮筒(20)，且電動伸縮筒(20)頂部內壁插接有電動伸縮桿(21)。

2.根據權利要求1所述的一種便于操作的離子濺射儀，其特征在于，所述工作臺(1)底部外壁設置有支撐腿(11)，且支撐腿(11)底部外壁套接有防滑套。

3.根據權利要求1所述的一種便于操作的離子濺射儀，其特征在于，所述玻璃樣品室(9)頂部外部粘接有吸盤，且吸盤頂部外壁設置有連接桿(7)。

4.根據權利要求3所述的一種便于操作的離子濺射儀，其特征在于，所述連接桿(7)一側外壁設置有連接板，且連接板外壁粘貼有使用說明書(8)。

5.根據權利要求1所述的一種便于操作的離子濺射儀，其特征在于，所述固定板(10)底部外壁設置有固定柱，且固定柱底部外壁設置有靶頭(13)，靶頭(13)位于樣品盒(14)的頂部。

6.根據權利要求1所述的一種便于操作的離子濺射儀，其特征在于，所述電動伸縮桿(21)頂部外壁設置有連接板，且連接板頂部外壁設置有彈簧(23)，彈簧(23)遠離連接板的一端外壁焊接在樣品盒(14)的底部外壁上。

7.根據權利要求1所述的一種便于操作的離子濺射儀，其特征在于，所述真空泵(3)、離子濺射儀本體(12)、電機(15)和電動伸縮筒(20)均通過導線連接有開關，且開關通過導線連接有電源。