[實用新型]傾斜裝置

有效

• 申請號: 201821965812.X
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN209583565U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 鄒金成;申兵兵
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: B66F19/00
• 分類號: B66F19/00;B66C13/08;H01L31/18
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 韓建偉;謝湘寧

本實用新型提供了一種傾斜裝置，包括：吊具，吊具用于吊起載具；推動機構，用于推動吊具上的載具相對吊具轉動，以使載具相對豎直方向傾斜。這樣可通過吊具將載具吊起，然后通過推動機構推動吊具上的載具轉動，以使載具相對豎直方向傾斜，載具發生傾斜后，載具中的液體便可在重力作用下快速排出。因此，通過上述技術方案，可便于載具中的液體排出，提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，具體而言，涉及一種傾斜裝置。

背景技術

在薄膜電池制造工藝中，有道工序是將裝有帶薄膜的晶片的載具放入帶液體的浸泡槽里，進行刻蝕。當刻蝕完成后，需將載具從浸泡槽中取出，并運輸到載具的回流線中。由于載具是從液體里取出，會帶有大量的液體，在放入到回流線前需將載具中的液體排出。現在沒有合適的方式排出載具中的液體。

實用新型內容

本實用新型提供了一種傾斜裝置，以將載具中的液體排出。

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種傾斜裝置，包括：吊具，吊具用于吊起載具；推動機構，用于推動吊具上的載具相對吊具轉動，以使載具相對豎直方向傾斜。

進一步地，推動機構包括：推動部，用于推動載具；驅動部，與推動部驅動連接以驅動推動部往返移動。

進一步地，推動部包括：推板，與驅動部連接；推輪，可轉動地設置在推板上，推輪的圓周面至少部分地凸出于推板的遠離驅動部的一側，推輪用于推動載具。

進一步地，推動機構還包括：第一導向部，第一導向部用于對推動部進行導向。

進一步地，推動機構還包括固定座，驅動部設置在固定座上，第一導向部包括導向板和導向桿，導向板固定在固定座上，導向桿穿設在導向板中，導向桿的一端與推動部連接。

進一步地，吊具包括：吊架；吊鉤，設置在吊架上，吊鉤用于勾住載具。

進一步地，吊鉤為兩個，兩個吊鉤分別設置在吊架的兩端，吊具還包括連接件，連接件設置在吊架上，連接件用于與搬運機構連接。

進一步地，傾斜裝置還包括：輸送機構，輸送機構用于輸送載具。

進一步地，輸送機構包括：托盤，用于承載載具；輸送組件，用于帶動托盤移動。

進一步地，傾斜裝置還包括：機架，推動機構設置在機架上；集液盤，設置在機架上，集液盤用于接收載具上流出的液體。

應用本實用新型的技術方案，傾斜裝置包括吊具和推動機構，這樣可通過吊具將載具吊起，然后通過推動機構推動吊具上的載具轉動，以使載具相對豎直方向傾斜，載具發生傾斜后，載具中的液體便可在重力作用下快速排出。因此，通過上述技術方案，可便于載具中的液體排出，提高生產效率。

附圖說明

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1示出了本實用新型的實施例提供的傾斜裝置的結構示意圖；

圖2示出了圖1中的吊具在吊起載具后的示意圖；

圖3示出了圖2中的推動機構在推動載具傾斜時的示意圖；

圖4示出了圖1中的推動機構的示意圖；

圖5示出了圖1中的吊具的示意圖；

圖6示出了圖1中的載具的示意圖；

圖7示出了圖1中的輸送機構的示意圖；

圖8示出了圖7中的輸送組件的示意圖；

圖9示出了圖7中的第二導向部的示意圖；