[實用新型]一種具有熱電偶損壞檢測機構的硅芯鑄錠爐

有效

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• 申請日: 2018-11-26
• 公開（公告）號: CN208953150U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設計）人: 許永根
• 申請（專利權）人: 浙江晶陽機電有限公司
• 主分類號: G01K7/02
• 分類號: G01K7/02;G01K1/14;G01K1/08;G01K15/00;G01M3/34
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 吳宏宇

本實用新型公開了一種具有熱電偶損壞檢測機構的硅芯鑄錠爐，包括熱電偶損壞檢測機構，熱電偶損壞檢測機構包括，熱電偶；內套筒，內套筒一端開口，另一端封閉；連接座，包括殼體以及內腔，殼體上具有第一開口，內套筒的開口端穿過第一開口插入連接座的內腔且與所述殼體密封配合，熱電偶一端與殼體內壁固定連接，另一端插入所述的內套筒，且所述的熱電偶與內套筒之間間隔配合；殼體上還設有用于檢測內腔真空度的測試儀以及與所述內腔連通的抽真空裝置。在硅芯鑄錠過程中，通過熱電偶檢測鑄錠環(huán)境中的溫度，熱電偶損壞檢測機構能更好的保護熱電偶不被損壞，同時能檢測到熱電偶損壞檢測機構的異常情況，確保熱電偶準確的測量到鑄錠環(huán)境中的溫度。

技術領域

本實用新型涉及鑄錠爐熱場溫度檢測技術，具體涉及一種具有熱電偶損壞檢測機構的硅芯鑄錠爐。

背景技術

硅芯鑄錠爐是多晶硅轉化為多晶硅芯工藝過程中的必備設備，而多晶硅又是光伏發(fā)電和半導體行業(yè)中的基礎原料。多晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不僅是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。

現有的硅芯鑄錠爐都沒有熱電偶損壞檢測機構，都是采用直接安裝一個熱電偶來測量鑄錠環(huán)境中的溫度，一旦熱電偶損壞，容易造成測量溫度不準確，影響硅芯的潔凈度等現象。

實用新型內容

針對上述技術問題，本實用新型提供了一種具有熱電偶損壞檢測機構的硅芯鑄錠爐，通過熱電偶檢測鑄錠環(huán)境中的溫度，熱電偶損壞檢測機構能更好的保護熱電偶不被損壞，同時能檢測到熱電偶損壞檢測機構的異常情況，確保熱電偶準確的測量到鑄錠環(huán)境中的溫度。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：一種具有熱電偶損壞檢測機構的硅芯鑄錠爐，包括熱電偶損壞檢測機構，熱電偶損壞檢測機構包括，

熱電偶；

內套筒，內套筒一端開口，另一端封閉；

連接座，連接座包括殼體以及內腔，殼體上具有第一開口，內套筒的開口端穿過第一開口插入連接座的內腔且與所述殼體密封配合，熱電偶一端與殼體內壁固定連接，另一端插入所述的內套筒，且所述的熱電偶與內套筒之間間隔配合；

殼體上還設有用于檢測內腔真空度的測試儀以及與所述內腔連通的抽真空裝置。

硅芯鑄錠爐采用熱電偶損壞檢測機構的作用如下：在硅芯鑄錠過程中，通過熱電偶檢測鑄錠環(huán)境中的溫度，熱電偶損壞檢測機構能更好的保護熱電偶不被損壞，同時能檢測到熱電偶損壞檢測機構的異常情況，確保熱電偶準確的測量到鑄錠環(huán)境中的溫度。

在上述方案的基礎上，作為優(yōu)選，連接座包括一號三通管，一號三通管上具有第一開口、第二開口、第三開口，內套筒側壁與第一開口處的三通管內壁之間設置有鎖緊密封圈，第二開口通過管道連接測試儀和抽真空裝置，第三開口為堵塞口。

在上述方案的基礎上，作為優(yōu)選，內套筒上還套設有鎖緊環(huán)，鎖緊環(huán)、鎖緊密封圈、一號三通管之間頂壓配合。

在上述方案的基礎上，作為優(yōu)選，鎖緊密封圈包括大直徑段、小直徑段，小直徑段位于一號三通管內壁和內套筒外壁之間，大直徑段位于第一開口外，且鎖緊環(huán)、大直徑段、三通管三者之間頂壓配合。

在上述方案的基礎上，作為優(yōu)選，管道連接二號三通管，二號三通管的第一個接頭連接管道，第二個接頭連接測試儀，第三個接頭連接抽真空裝置，測試儀為真空計，抽真空裝置為真空檢漏儀。

在上述方案的基礎上，作為優(yōu)選，抽真空裝置包括真空檢漏儀、真空泵，測試儀為真空計，管道連接四通管，四通管一個接頭連接管道，第二個接頭連接真空計，第三個接頭連接真空檢漏儀，第四個接頭連接真空泵。