[實用新型]一種用于硅片貼片機的涂蠟裝置

有效

• 申請號: 201821954666.0
• 申請日: 2018-11-26
• 公開（公告）號: CN209715563U
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 胡曉光;厲惠宏;徐繼東
• 申請（專利權）人: 金瑞泓科技(衢州)有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02;B05C13/02;F16B11/00
• 代理公司: 31233 上海泰能知識產權代理事務所
• 代理人: 宋纓;孫健<國際申請>=<國際公布>=<

本實用新型涉及一種用于硅片貼片機的涂蠟裝置，包括底板和升降臺，第二升降氣缸的上端與升降臺相連，升降臺中部內安裝有真空罩杯，真空罩杯內設置有真空腔，真空罩杯的下端安裝有伺服電機，真空腔內轉動安裝有加長軸，加長軸穿過真空罩杯的上端連接有第二吸盤，加長軸的下端與伺服電機的輸出軸相連，加長軸內設置有用于連接第二吸盤和真空腔的真空通道，真空罩杯的一側開有與真空腔連通的通孔，通孔通過氣管與抽真空設備相連，升降臺的上方設置有甩涂蠟箱，甩涂蠟箱的上端連接有滴蠟管，位于后方的第一升降氣缸其上方設置有烤蠟箱。本實用自動化程度高，適合大批量生產。

技術領域

本實用新型涉及硅片貼片機技術領域，特別是涉及一種用于硅片貼片機的涂蠟裝置。

背景技術

硅片貼片是在硅片加工過程中必不可少的程序，目前主要人工借助定制的工裝夾具手工操作工作效率低，貼片速度慢，貼片質量不穩定，影響產品質量及企業發展。

在貼片過程中，其中一個工序是對硅片進行涂膠處理，但目前沒有專門用于硅片涂膠的設備，導致生產效率低下。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種用于硅片貼片機的涂蠟裝置，結構簡單，自動化程度高，適合大批量生產。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：提供一種用于硅片貼片機的涂蠟裝置，包括底板和升降臺，所述的底板上端的前后兩側均豎直布置有第一升降氣缸，每個第一升降氣缸的活塞桿上端均安裝有第一吸盤，兩個第一升降氣缸之間并排布置有兩個第二升降氣缸，所述的第二升降氣缸的上端與升降臺相連，該升降臺中部內安裝有真空罩杯，所述的真空罩杯內設置有真空腔，該真空罩杯的下端安裝有伺服電機，所述的真空腔內轉動安裝有加長軸，該加長軸穿過真空罩杯的上端連接有第二吸盤，所述的加長軸的下端與伺服電機的輸出軸相連，所述的加長軸內設置有用于連接第二吸盤和真空腔的真空通道，所述的真空罩杯的一側開有與真空腔連通的通孔，該通孔通過氣管與抽真空設備相連，所述的升降臺的上方設置有甩涂蠟箱，該甩涂蠟箱的上端連接有滴蠟管，位于后方的第一升降氣缸其上方設置有烤蠟箱，所述的底板的左右兩側均設置有前后滑動的滑臺立板，兩個滑臺立板的下端通過滑臺底板相連，所述的底板底部安裝有與滑臺底板相連的磁偶氣缸，每個滑臺立板的上端均對應安裝有三個硅片置板。

作為對本實用新型所述的技術方案的一種補充，所述的真空罩杯的下端與伺服電機之間安裝有密封墊。

作為對本實用新型所述的技術方案的一種補充，所述的伺服電機的下端安裝有編碼器。

作為對本實用新型所述的技術方案的一種補充，所述的底板的上端中部安裝有氣缸固定板，該氣缸固定板與底板之間安裝有若干個彈性減震部件，兩個第二升降氣缸安裝在氣缸固定板的上端。

作為對本實用新型所述的技術方案的一種補充，所述的氣缸固定板的上端位于每個第二升降氣缸的內側均豎直安裝有導套固定板，每個導套固定板的上部內側均豎直安裝有導套，所述的導套內安裝有相配的導桿，該導桿的上端與升降臺相連。

作為對本實用新型所述的技術方案的一種補充，所述的真空腔上端與真空罩杯之間安裝有軸封。

有益效果：本實用新型涉及一種用于硅片貼片機的涂蠟裝置，裝置共有四個工位，1、接片，2、甩蠟，3、烤蠟，4、翻片，實現四個工位的位置變化。磁偶氣缸可以控制滑臺立板以及硅片置板前后滑動，使得硅片一片一片由前往后運輸進來，運輸進來的硅片依次經過滴蠟處理、烘烤處理，最后通過翻轉機構將烘烤好的硅片翻轉并與陶瓷盤貼合。

附圖說明

圖1是本實用新型的左視結構示意圖；

圖2是本實用新型的局部結構示意圖；

圖3是本實用新型的局部結構示意圖；

圖4是本實用新型去掉烤蠟箱、滴蠟管以及甩涂蠟箱的主視結構示意圖；