[實用新型]一種刻蝕槽

有效

• 申請號: 201821951748.X
• 申請日: 2018-11-23
• 公開（公告）號: CN209000882U
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 朱紋哲;何安康;閆鵬飛;費正洪
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種刻蝕槽，其特征在于，包括刻蝕槽本體(20)和與所述刻蝕槽本體(20)連接的輸送機構，其中，所述輸送機構包括：

-兩根傳動軸(21)，兩根所述傳動軸(21)分別與所述刻蝕槽本體(20)的兩端轉動連接；

-環形網帶(22)，所述環形網帶(22)環繞在兩根所述傳動軸(21)上并由兩根所述傳動軸(21)帶動回轉。

2.根據權利要求1所述的刻蝕槽，其特征在于，所述環形網帶(22)包括邊框(23)和與所述邊框(23)連接并形成網格的經線(24)和緯線(25)，所述經線(24)和所述緯線(25)上均設有呈螺旋狀的凹槽(26)。

3.根據權利要求2所述的刻蝕槽，其特征在于，所述經線(24)和所述緯線(25)的直徑為3mm-5mm。

4.根據權利要求2所述的刻蝕槽，其特征在于，所述凹槽(26)的直徑為2.5mm-4.5mm。

5.根據權利要求2所述的刻蝕槽，其特征在于，所述邊框(23)與所述傳動軸(21)嚙合。

6.根據權利要求1-5任一項所述的刻蝕槽，其特征在于，所述刻蝕槽本體(20)于所述環形網帶(22)的輸送面下方轉動設有用于支撐所述環形網帶(22)的多個輥輪(27)。

7.根據權利要求6所述的刻蝕槽，其特征在于，所述輥輪(27)的外周面上周向設有多個沿其周向分布的環槽(28)。

8.根據權利要求6所述的刻蝕槽，其特征在于，所述輥輪(27)的個數為3個，且等間距分布在所述刻蝕槽本體(20)中。

9.根據權利要求6所述的刻蝕槽，其特征在于，所述環形網帶(22)與所述輥輪(27)的材質均為PVDF。

10.根據權利要求6所述的刻蝕槽，其特征在于，所述輥輪(27)的直徑為30mm-40mm。