[實用新型]角閥有效
| 申請號： | 201821950692.6 | 申請日： | 2018-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN209262352U | 公開（公告）日： | 2019-08-16 |
| 發明（設計）人： | 陳建宇;周冬成;吳宗祐;林宗賢 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | F16K27/00 | 分類號： | F16K27/00;F16K51/00 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 角閥 清潔腔 管口 內壁 腔室 本實用新型 清潔部件 清潔裝置 驅動部件 收納空間 閥管口 維修保養周期 節約資源 生產效率 相對設置 清潔角 自清潔 對角 閥門 去除 伸入 污染物 | ||
【權利要求書】：
1.一種角閥，其特征在于，所述角閥包括：
角閥腔室，所述角閥腔室設有角閥管口；
角閥清潔腔，所述角閥清潔腔與所述角閥腔室相連，并與所述角閥管口相對設置；所述角閥清潔腔包括收納空間及清潔腔閥門，所述收納空間內設有角閥清潔裝置，所述角閥清潔裝置包括驅動部件及清潔部件，所述清潔部件通過所述驅動部件伸入所述角閥管口內，以清潔所述角閥管口的內壁。
2.根據權利要求1所述的角閥，其特征在于：所述驅動部件包括伸縮單元。
3.根據權利要求2所述的角閥，其特征在于：所述驅動部件還包括旋轉單元。
4.根據權利要求1所述的角閥，其特征在于：所述清潔部件包括刮刷及研磨塊中的一種或組合。
5.根據權利要求1所述的角閥，其特征在于：所述清潔部件包括陶瓷部件、氟膠部件及氧化鋁部件中的一種或組合。
6.根據權利要求1所述的角閥，其特征在于：所述清潔部件的移動方式包括平移式或由平移式與旋轉式形成的組合中的一種。
7.根據權利要求1所述的角閥，其特征在于：所述清潔部件與所述角閥管口具有相同的水平截面形貌。
8.根據權利要求1所述的角閥，其特征在于：所述清潔腔閥門還連接有清潔腔閥門伸縮單元。
9.根據權利要求1所述的角閥，其特征在于：所述清潔腔閥門與所述角閥腔室的內壁具有同一水平面。
10.根據權利要求1～9中任一所述的角閥，其特征在于：所述角閥包括應用于半導體設備中的角閥。
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