[實用新型]一種測試芯片及系統

有效

• 申請號: 201821949132.9
• 申請日: 2018-11-23
• 公開（公告）號: CN209327519U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 楊璐丹;竇曉昕;潘偉偉
• 申請（專利權）人: 杭州廣立微電子有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R27/26
• 代理公司: 杭州豐禾專利事務所有限公司 33214
• 代理人: 吳雙

1.一種測試芯片，其特征在于，包括尋址電路、QVCM測試電路、不同測試項轉換電路和若干連接到各電路的焊盤；QVCM測試電路經過不同測試項轉換電路連接到待測器件的電流測試端；利用不同測試項轉換電路，能通過同一個測試結構電路對待測器件的三個測試項：門極總電容Cg-g、門極對襯底的電容Cg-b和襯底電壓下門極對源極及漏極的電容Cg-sd@Vb，進行轉換測試。

2.根據權利要求1所述的一種測試芯片，其特征在于，所述不同測試項轉換電路包括兩個MUX21選擇器，其中一個MUX21選擇器與所有待測器件的襯底B端相連，另一個MUX21選擇器與所有待測器件的源極S、漏極D端相連；

每個MUX21選擇器由兩個傳輸門構成，兩個傳輸門的輸出端共同連接到待測器件，其中一個傳輸門的輸入端連接到測試芯片中的VB電壓焊盤,另一個傳輸門的輸入端連接到QVCM測試電路的VE端。

3.根據權利要求1所述的一種測試芯片，其特征在于，所述尋址電路至少包括一個譯碼器和N個MUX21選擇器，N的值和待測器件的數量相同，即每個待測器件的柵極連接有一個對應的MUX21選擇器。

4.根據權利要求3所述的一種測試芯片，其特征在于，每個MUX21選擇器的輸出端與一個對應的待測器件連接；每個MUX21選擇器有兩個輸入端，一個輸入端用于充電電壓輸入，另一個輸入端通過信號線連接到測試芯片中的禁止焊盤；

所述禁止焊盤上的電壓與測試芯片中QVCM測試電路輸出端電壓值相同，使得未被選中的待測器件上無電壓偏置，不干擾被選中的待測器件的測試精度。

5.根據權利要求3所述的一種測試芯片，其特征在于，所述譯碼器的數字信號輸入端為X個，X＝log₂N，且當log₂N不是整數時，則X取比log₂N大且差值小于1的整數。

6.根據權利要求1所述的一種測試芯片，其特征在于，所述測試芯片采用兩組電源供電，將待測器件左右兩邊的供電電壓分開。

7.一種測試系統，其特征在于，包括測試機、探針卡和權利要求1至6中任意一項所述的測試芯片；測試機通過探針卡與測試芯片連接并實現測試。

8.根據權利要求7所述的一種測試系統，其特征在于，所述探針卡上集成有電壓產生模塊，電壓產生模塊用于提供充電電壓。