[實用新型]一種用于安裝在晶片拋光設備上的拋光液回收裝置

有效

• 申請號: 201821944892.0
• 申請日: 2018-11-24
• 公開（公告）號: CN209140708U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 王文昌;于會永;趙春峰;袁韶陽;荊愛明;穆成鋒;張軍軍
• 申請（專利權）人: 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于安裝在晶片拋光設備上的拋光液回收裝置，包括回收裝置主體(1)、收集斗(9)以及積液斗(11)，其特征在于：所述回收裝置主體(1)正面固定安裝有工作指示燈(8)，所述回收裝置主體(1)底部固定安裝有支撐柱(2)，所述支撐柱(2)底部固定安裝有固定板(5)，所述支撐柱(2)之間固定安裝有固定桿(3)，所述支撐柱(2)一側固定安裝有泵機(6)，所述泵機(6)頂部固定安裝有連接管(7)，所述回收裝置主體(1)內設有工作臺(14)，所述工作臺(14)底部固定安裝有收集斗(9)，所述收集斗(9)底部固定安裝有電機(12)，所述電機(12)頂部固定安裝有連接軸(13)，所述連接軸(13)頂部固定安裝有攪拌螺旋(15)，所述電機(12)兩側固定安裝有過濾層(10)，所述過濾層(10)底部固定安裝有積液斗(11)，所述積液斗(11)底部固定安裝有傳液管(4)，所述工作臺(14)頂部固定有擋板(19)，所述擋板(19)內側固定安裝有平板(17)，所述工作臺(14)頂部外圍平板(17)之間固定安裝有單向導槽(18)，所述工作臺(14)頂部中心平板(17)之間固定安裝有雙向導槽(16)，所述單向導槽(18)與雙向導槽(16)交叉口固定安裝有漏孔(20)。

2.根據權利要求1所述的一種用于安裝在晶片拋光設備上的拋光液回收裝置，其特征在于：所述單向導槽(18)靠近漏孔(20)的一端較低，且另一側較高。

3.根據權利要求1所述的一種用于安裝在晶片拋光設備上的拋光液回收裝置，其特征在于：所述雙向導槽(16)中間較高，且向兩端逐漸降低。

4.根據權利要求1所述的一種用于安裝在晶片拋光設備上的拋光液回收裝置，其特征在于：所述傳液管(4)兩端固定安裝有彎頭。

5.根據權利要求1所述的一種用于安裝在晶片拋光設備上的拋光液回收裝置，其特征在于：所述積液斗(11)通過傳液管(4)固定連接泵機(6)。

6.根據權利要求1所述的一種用于安裝在晶片拋光設備上的拋光液回收裝置，其特征在于：所述收集斗(9)內壁固定安裝有多組溜槽。