[實用新型]一種用于高真空鍍膜機專用的熱阻蒸發用的回轉機構

有效

• 申請號: 201821944553.2
• 申請日: 2018-11-24
• 公開（公告）號: CN209522905U
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 杜寶勝
• 申請（專利權）人: 蘇州佑倫真空設備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548
• 代理人: 宋翡翠

本實用新型公開了一種用于高真空鍍膜機專用的熱阻蒸發用的回轉機構，其結構包括電極、押元蓋、軸受、絕緣墊片、第一法蘭、第二法蘭、軸承、微型傳感器、傳感器用遮蔽器、傳感器支架、夾具、齒輪、無接點馬達機構、支柱、齒輪箱、鋼帶連接支座、鋼帶連接變壓器、水冷套和本體保護罩組成，電極左部外側與押元蓋進行螺紋連接，押元蓋右側中部與軸受進行水平插接，本實用新型的一種用于高真空鍍膜機專用的熱阻蒸發用的回轉機構，結構簡單方便，機械故障率低，由于帶水冷功能，大大降低了工作時的熱量輻射，因此對低溫共金工藝的溫度控制尤其效果明顯，蒸鍍時工藝溫度因帶水冷能夠控制在60度以下。

技術領域

本實用新型是一種用于高真空鍍膜機專用的熱阻蒸發用的回轉機構，屬于高真空鍍膜機領域。

背景技術

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種，真空鍍膜機內部設置有用于熱阻蒸發的鎢舟回轉用專門機構，傳統的設計方案是把片狀或線狀高熔點金屬（鎢、鉬、鉭等）做成適當形狀的蒸發源,裝上蒸鍍材料，通電流加熱蒸鍍材料，使其蒸發，存在薄膜致密性不佳；很多材料無法蒸鍍；薄膜材料的蒸鍍受到蒸發源材料熔點的限制；蒸發源材料消耗比較快的缺點。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種用于高真空鍍膜機專用的熱阻蒸發用的回轉機構，以解決現有技術薄膜致密性不佳；很多材料無法蒸鍍；薄膜材料的蒸鍍受到蒸發源材料熔點的限制；蒸發源材料消耗比較快的問題。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種用于高真空鍍膜機專用的熱阻蒸發用的回轉機構，包括電極、押元蓋、軸受、絕緣墊片、第一法蘭、第二法蘭、軸承、微型傳感器、傳感器用遮蔽器、傳感器支架、夾具、齒輪、無接點馬達機構、支柱、齒輪箱、鋼帶連接支座、鋼帶連接變壓器、水冷套和本體保護罩組成，所述電極左部外側與押元蓋進行螺紋連接，所述押元蓋右側中部與軸受進行水平插接，所述軸受右部外側通過絕緣墊片與第一法蘭進行螺紋連接，所述第一法蘭右側與第二法蘭進行螺紋連接，所述軸受右側通過軸承與第二法蘭進行螺紋連接，所述電極中部后側通過傳感器用遮蔽器與傳感器支架進行螺紋連接，所述微型傳感器右側通過傳感器支架與電極進行轉動連接，所述電極右部后側與夾具進行螺紋連接，所述夾具底部與齒輪進行焊接，所述齒輪底側與無接點馬達機構進行傳動連接，所述無接點馬達機構左側通過支柱與第二法蘭進行插接，所述無接點馬達機構右側與齒輪箱進行傳動連接，所述電極頂部右側后部與鋼帶連接支座進行螺紋連接，所述鋼帶連接支座右側與鋼帶連接變壓器進行螺紋連接，所述電極右部頂側與水冷套進行焊接，所述電極右部外側設置有本體保護罩。

進一步地，所述本體保護罩的長度為269.2mm，高度為239.4mm，寬度為177mm。

進一步地，所述電極的長度為518mm。

進一步地，所述第一法蘭和第二法蘭的寬度均為17mm。

進一步地，所述齒輪箱的寬度為181mm。

進一步地，所述電極使用的材料為銅。

本實用新型的一種用于高真空鍍膜機專用的熱阻蒸發用的回轉機構，結構簡單方便，機械故障率低，由于帶水冷功能，大大降低了工作時的熱量輻射，因此對低溫共金工藝的溫度控制尤其效果明顯，蒸鍍時工藝溫度因帶水冷能夠控制在60度以下。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型A視圖的結構示意圖；

圖3為本實用新型B視圖的結構示意圖。