[實用新型]多晶硅定向凝固復合裝置

有效

• 申請號: 201821928233.8
• 申請日: 2018-11-19
• 公開（公告）號: CN209338699U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 羊實;周旭
• 申請（專利權）人: 江蘇斯力康科技有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/06
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 胡曉麗

1.多晶硅定向凝固復合裝置，包括基板(1)，其特征在于，所述基板(1)上設有復合保護套筒(2)，復合保護套筒(2)內用于容納放置筒形石墨模具(3)；所述復合保護套筒(2)包括底板(201)、若干曲面側板(202)和限位環(203)，底板(201)上表面沿周向設有安裝槽(204)，安裝槽(204)內設有橡膠密封墊，若干曲面側板(202)的軸向底端過渡配合嵌入安裝槽(204)內固定，且任意相鄰的兩個曲面側板(202)的軸向側邊相互密封契合使整體呈圓筒形結構，若干曲面側板(202)構成的圓筒形結構頂部可拆卸套設限位環(203)進行固定；底板(201)上設有冷卻盤(4)，冷卻盤(4)用于與石墨模具(3)的底部接觸。

2.根據權利要求1所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，若干曲面側板(202)沿軸向的側邊設有相互適配的卡槽(205)和凸緣(206)，且相鄰的兩個曲面側板(202)在卡槽(205)和凸緣(206)契合處通過橡膠墊密封。

3.根據權利要求1所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述限位環(203)朝向底板(201)的端面沿周向開設有定位環槽(207)，所述定位環槽(207)用于卡設曲面側板(202)的頂端。

4.根據權利要求3所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述限位環(203)的內壁上開設有兩個對稱分布的限位槽(208)，限位槽(208)的延伸方向與限位環(203)的軸線方向平行；所述石墨模具(3)的頂部側壁上對稱設有兩個與所述限位槽(208)適配的限位塊(5)，所述限位塊(5)上設有起吊卡槽(6)。

5.根據權利要求1所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述冷卻盤(4)的底面上沿周向設有固定環(7)，底板(201)的上板面凹設有與所述固定環(7)適配的固定環槽(8)，所述固定環(7)的側壁上設有密封橡膠墊，所述密封橡膠墊過渡配合壓緊在固定環(7)和固定環槽(8)之間。

6.根據權利要求1所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述冷卻盤(4)包括圓盤狀殼體(9)，進水管(10)貫穿殼體(9)的底部伸入殼體(9)內、且伸入部分的自由端與殼體(9)內頂面密封接觸；進水管(10)伸入殼體(9)內的管段側壁上開設若干通孔；殼體(9)內以進水管(10)為圓心輻射狀分布若干導熱隔板(11)，導熱隔板(11)的板面方向與殼體(9)軸線方向垂直，導熱隔板(11)的上下兩邊分別與殼體(9)內底面和頂面接觸連接；導熱隔板(11)沿輻射方向的長度小于進水管(10)的外壁至殼體(9)內側壁之間的直線距離；殼體(9)內沿側壁邊緣的底部開設有若干排水孔(12)；若干排水孔(12)的輸出端與排水總管(13)連通。

7.根據權利要求6所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述殼體(9)的底部設有收集室(14)，所述排水孔(12)的輸出端與收集室(14)的輸入端導通，收集室(14) 的輸出端與排水總管(13)導通。

8.根據權利要求1所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述基板(1)下方設有若干行走輪(15)。

9.根據權利要求1所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述復合保護套筒(2)采用耐高溫鋼質材料、剛玉或陶瓷制成。

10.根據權利要求1所述的多晶硅定向凝固復合裝置，其特征在于，所述復合保護套筒(2)頂部設有導熱蓋板，所述導熱蓋板上設有進氣管。