[實用新型]一種晶片在位檢測系統

有效

• 申請號: 201821927313.1
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN209150053U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 李亮亮
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;李相雨

1.一種晶片在位檢測系統，其特征在于，包括控制器、晶片、至少一個光信號發射器和至少一個光電信號轉換器，其中：

所述光信號發射器用于向所述晶片發射檢測光；

所述光電信號轉換器用于接收所述晶片反射的光信號，并且將所述光信號轉換成電信號；

所述光電信號轉換器將所述電信號傳遞給所述控制器；其中，所述光信號發射器和所述光電信號轉換器一一對應。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述光信號發射器和對應的光電信號轉換器集成在一個部件上。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述光信號發射器與對應的光電信號轉換器集成在反射式光電傳感器上。

4.根據權利要求3所述的系統，其特征在于，所述控制器通過輸入輸出耦合端子與所述反射式光電傳感器相連。

5.根據權利要求3所述的系統，其特征在于，所述反射式光電傳感器的型號為PX-H61。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括報警裝置，所述報警裝置與所述控制器相連。

7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述報警裝置采用報警燈和/或揚聲器。

8.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括上位機，所述上位機與所述控制器相連。

9.根據權利要求1至8任一項所述的系統，其特征在于，所述控制器的型號為C6930-0040。