[實用新型]遮擋裝置及離子植入機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821926309.3 | 申請日： | 2018-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN209298061U | 公開（公告）日： | 2019-08-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馮晨萁;洪紀倫;吳宗祐;林宗賢 | 申請（專利權(quán)）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶片 機械手 擋板 遮擋裝置 植入 離子束 離子 本實用新型 離子植入機 一側(cè)邊緣 移動 波動位置 擋板移動 一次掃描 植入的 檔板 過量 | ||
1.一種遮擋裝置，用于晶片的離子植入，其特征在于，所述遮擋裝置包括：擋板和機械手，所述擋板與所述機械手相連，所述擋板能夠隨著所述機械手移動；
所述機械手包括一凹槽結(jié)構(gòu)和一手柄，所述凹槽結(jié)構(gòu)包括底板和兩個側(cè)板，其中兩個所述側(cè)板平行且均與所述底板垂直連接，所述手柄與所述底板連接，兩個所述側(cè)板的間距為16mm-24mm；所述擋板設(shè)置于所述凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)。
2.如權(quán)利要求1所述的遮擋裝置，其特征在于，所述側(cè)板與所述底板的連接邊的長度為160mm-240mm。
3.如權(quán)利要求1所述的遮擋裝置，其特征在于，所述擋板位于兩個所述側(cè)板之間，且所述擋板與所述側(cè)板平行。
4.如權(quán)利要求1所述的遮擋裝置，其特征在于，所述擋板與所述機械手通過螺釘裝置固定安裝。
5.如權(quán)利要求1所述的遮擋裝置，其特征在于，所述遮擋裝置還包括一驅(qū)動器，所述驅(qū)動器連接所述機械手，并能夠驅(qū)動所述機械手移動。
6.如權(quán)利要求1所述的遮擋裝置，其特征在于，所述擋板為碳板，所述機械手為金屬機械手。
7.如權(quán)利要求1所述的遮擋裝置，其特征在于，所述機械手能夠在第一方向和第二方向構(gòu)成的平面上沿直線移動，其中所述第一方向與所述第二方向相垂直。
8.如權(quán)利要求7所述的遮擋裝置，其特征在于，所述擋板在所述第一方向上的長度為400mm-600mm，在所述第二方向上的長度為240mm-360mm。
9.一種離子植入機，用于晶片的離子植入，其特征在于，所述離子植入機包括：
一離子發(fā)射器，用于發(fā)射離子束；
一如權(quán)利要求1至8中任一項所述的遮擋裝置，所述遮擋裝置能夠在與所述離子束運動方向垂直的平面上運動，且所述遮擋裝置位于晶片與所述離子發(fā)射器之間。
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