[實用新型]一種基于曝光機框架高重復機械精度的定位裝置有效
| 申請號: | 201821921104.6 | 申請日: | 2018-11-21 |
| 公開(公告)號: | CN209265174U | 公開(公告)日: | 2019-08-16 |
| 發明(設計)人: | 詹澤軍;柯華廉 | 申請(專利權)人: | 東莞市多普光電設備有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 李靜 |
| 地址: | 523000 廣東省*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 上框架 定位軸承 定位座 本實用新型 定位裝置 定位組件 定位槽 定位塊 高重復 曝光機 對位精準度 插套配合 垂直設置 鉸接配合 位置定位 定位銷 偏移量 上下層 下框架 底片 豎直 相切 配合 保證 | ||
1.一種基于曝光機框架高重復機械精度的定位裝置,包括鉸接配合的下框架(1)和上框架(2),其特征在于,所述的上框架(2)的左右側和后側均設置有第一定位組件(3),所述的第一定位組件(3)包括設置在下框架(1)上的T卡定位座(30),所述的T卡定位座(30)的中心開設有定位槽,所述的T卡定位座(30)上設置有第一定位塊(31),所述的第一定位塊(31)上設置通過第一定位銷(33)安裝有兩個相對的第一定位軸承(32),所述的上框架(2)上安裝有T型定位塊(34),所述的T型定位塊(34)的豎直部分與定位槽插套配合并與第一定位軸承(32)相切配合,且上框架左右側和上框架后側的第一定位軸承(32)垂直設置。
2.根據權利要求1所述的一種基于曝光機框架高重復機械精度的定位裝置,其特征在于,所述的上框架(2)的左右側還設置有第二定位組件(4),所述的第二定位組件(4)包括設置在下框架(1)上的第二定位塊(40),所述的第二定位塊(40)上通過第二定位銷(42)安裝有第二定位軸承(41),所述的第二定位軸承(41)與上框架(2)的側面平行,所述的上框架(2)的側面安裝有直角定位塊(43),所述的直角定位塊(43)的豎直部分與第二定位軸承(41)相切配合。
3.根據權利要求2所述的一種基于曝光機框架高重復機械精度的定位裝置,其特征在于,所述的第一定位組件(3)和第二定位組件(4)均關于上框架(2)左右對稱設置。
4.根據權利要求1所述的一種基于曝光機框架高重復機械精度的定位裝置,其特征在于,兩個相對的第一定位軸承(32)可延與第一定位軸承的軸線垂直的方向進行位置調節。
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