[實用新型]一種自動供液系統

有效

• 申請號: 201821906708.3
• 申請日: 2018-11-20
• 公開（公告）號: CN209318388U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發明（設計）人: 靳立輝;高翔;王國瑞
• 申請（專利權）人: 天津環博科技有限責任公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/08
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

本實用新型提供了一種自動供液系統，包括儲液柜，儲液柜前面設有柜門，儲液柜頂部設有排風口和設備接口，儲液柜底部設有移動裝置，儲液柜內部設有儲液罐，儲液罐為多個，儲液罐內部設有傳感器，儲液罐分別通過管路連接抽液泵一端，抽液泵另一端通過管路透過設備接口連接待清洗設備，儲液柜頂部設有電控箱，電控箱表面設有顯示屏，電控箱內部設有處理器，處理器分別電連接顯示屏和傳感器。本實用新型具有的有益效果為：結構簡單，操作方便，集成度較好，自動化程度較高，采用多個儲液罐分別供液，有效解決了生產過程中，因換液造成的停機問題。

技術領域

本實用新型屬于半導體制造技術領域，尤其是涉及一種自動供液系統。

背景技術

近年來，隨著電子產品的日益普及和更新，在產業高速發展、政策利好以及技術進步等因素的共同助力下，國內半導體產業的成長勢頭迅猛，產業維持高速增長。

在半導體的制造過程中，腐蝕工藝貫穿整個制作流程，發揮著重大作用。硅片、芯片等半導體部件在加工過程中，會用到多道藥液處理工藝，為了保證半導體清洗干凈且不污染下道工序，通常會進行多級水洗過程，從而將藥液水清洗干凈。

現有的供液系統大多結構比較簡單，功能單一，適用于單一設備的供液系統，且存在供液間斷、在供液過程中污染藥液，硅片清洗不徹底等問題。結構復雜的供液系統，占地面積大，浪費空間，且造價成本高。

實用新型內容

本實用新型要解決的問題是提供一種供液系統；尤其是自動化程度高、供液效率高、且能夠有效避免斷液的自動供液系統。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：一種自動供液系統，包括儲液柜，所述儲液柜前面設有柜門，所述儲液柜頂部設有排風口和設備接口，所述儲液柜底部設有移動裝置，所述儲液柜內部設有儲液罐，所述儲液罐為多個，所述儲液罐內部設有傳感器，所述儲液罐分別通過管路連接抽液泵一端，所述抽液泵另一端通過管路透過所述設備接口連接待清洗設備，所述儲液柜頂部設有電控箱，所述電控箱表面設有顯示屏，所述電控箱內部設有處理器，所述處理器分別電連接所述顯示屏和所述傳感器。

進一步的，所述儲液罐頂部一端設有出液口，所述儲液罐頂部另一端設有提手，所述出液口處設有空氣呼吸器，所述儲液罐內部設有清洗道，所述空氣呼吸器與所述清洗道通過所述出液口聯通。

進一步的，所述儲液罐通過氣動閥連接所述抽液泵。

進一步的，所述氣動閥包括驅動桿和手輪，所述驅動桿外部套有螺紋套，所述螺紋套外部垂直設有渦輪結構，所述渦輪結構連接所述手輪，所述驅動桿頂部設有限位裝置，所述驅動桿底部設有活塞，所述活塞置于氣缸內部，所述氣缸上面設有上進氣口，所述氣缸下面設有下進氣口。

進一步的，所述傳感器為液位傳感器和漏液傳感器。

進一步的，所述柜門材質為透明材質。

進一步的，所述柜門通過鉸接裝置與所述儲液柜連接。

進一步的，所述鉸接裝置為合頁。

進一步的，所述移動裝置為軌道和/或萬向輪。

進一步的，所述排風口處安裝有排風管道。

本實用新型具有的優點和積極效果是：

1、本實用新型結構簡單，操作方便，通過設有多個儲液罐，來實現分別、連續供液，每個儲液罐獨立工作，儲液罐損壞或罐內溶液用盡的情況下，可任意更換其他儲液罐，解決了因更換儲液罐而造成停機的問題，提高了生產效率，節省了人工成本。

2、本實用新型將多個儲液罐高度集裝在一個儲液柜內，相較于同類裝置具有更高的集成度，占地面積小，使用方便，節省了空間，造價成本低。