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[實用新型]一種PI制程中網紋輥的清洗裝置有效

專利信息
申請號: 201821906095.3 申請日: 2018-11-19
公開(公告)號: CN209365639U 公開(公告)日: 2019-09-10
發明(設計)人: 金山 申請(專利權)人: 張家港康得新光電材料有限公司
主分類號: B41F35/00 分類號: B41F35/00
代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 215634 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 進氣管 控制閥 網紋輥 缸體 本實用新型 連通氣源 清洗裝置 乙醇溶劑 噴嘴 出液管 制程 連通 體內 平板顯示技術 全自動化操作 機械損傷 清洗效果 清洗效率 設備內部 電連接 化學品 潔凈度 擦拭 清洗
【權利要求書】:

1.一種PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,包括:

第一缸體(11)和第二缸體(12),所述第一缸體(11)內放置有NMP溶劑瓶(21),所述第二缸體(12)內放置有乙醇溶劑瓶(22);

第一進氣管(31)、第一出液管(41)、第二進氣管(32)、第二出液管(42)和噴嘴(60),所述第一進氣管(31)連通氣源和所述第一缸體(11),所述第一出液管(41)連通所述NMP溶劑瓶(21)和所述噴嘴(60),所述第二進氣管(32)連通氣源和所述第二缸體(12),所述第二出液管(42)連通所述乙醇溶劑瓶(22)和所述噴嘴(60);

第一控制閥(51)和第二控制閥(52),分別設置在第一進氣管(31)和第二進氣管(32)上,且所述第一控制閥(51)和所述第二控制閥(52)均與控制單元電連接。

2.根據權利要求1所述的PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,還包括第三進氣管(33),所述第三進氣管(33)連通所述氣源和所述噴嘴(60),所述第三進氣管(33)上設置有第三控制閥(53),所述第三控制閥(53)與所述控制單元電連接。

3.根據權利要求1所述的PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,所述第一進氣管(31)和所述第二進氣管(32)通過第一轉接頭(71)與總進氣管(30)連通,所述總進氣管(30)與所述氣源連通,所述總進氣管(30)上設置有調壓閥(50);所述第一出液管(41)和所述第二出液管(42)通過第二轉接頭(72)與總出液管(40)連通,所述總出液管(40)與所述噴嘴(60)連通。

4.根據權利要求3所述的PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,還包括第三進氣管(33),所述第三進氣管(33)的一端與所述第一轉接頭(71)中的一個出口連通,所述第三進氣管(33)的另一端與所述第二轉接頭(72)中的一個進口連通,所述第三進氣管(33)上設置有第三控制閥(53),所述第三控制閥(53)與所述控制單元電連接。

5.根據權利要求4所述的PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,所述第一轉接頭(71)和所述第二轉接頭(72)均為四通轉接頭。

6.根據權利要求1所述的PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,所述噴嘴(60)為水幕噴嘴。

7.根據權利要求1所述的PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,所述噴嘴(60)滑動設置在滑軌上,所述滑軌沿網紋輥的軸線方向設置。

8.根據權利要求7所述的PI制程中網紋輥的清洗裝置,其特征在于,所述噴嘴(60)與所述滑軌之間通過萬向調節桿連接。

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