[實用新型]基板表面檢測裝置

有效

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• 申請日: 2018-11-16
• 公開（公告）號: CN210128944U
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發(fā)明（設計）人: 崔漢鉉
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 北京弘權知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 王建國;郭放

本實用新型實施例中的基板表面檢測裝置包括：用于移送基板的移送單元；用于檢測基板的下面的第1檢測單元；以及用于檢測基板的邊緣部的第2檢測單元。

技術領域

本實用新型涉及一種基板表面檢測裝置，用于檢測基板表面。

背景技術

通常，用于平板顯示器的液晶顯示面板、有機電致發(fā)光顯示器面板、無機電致發(fā)光顯示器面板、透射投影基板、反射投影基板等使用單元玻璃面板(以下稱為“單元基板”)，所述單元玻璃面板是通過將如玻璃等脆性母體玻璃面板(以下稱為“基板”)切割成預定尺寸而獲得。

將這些基板應用于產(chǎn)品前，需要執(zhí)行對基板表面進行檢測的工序。為了檢測基板的表面，使用了多種基板表面檢測裝置。基板表面檢測裝置包括在基板表面對向配置的攝像機，根據(jù)攝像機所拍攝的基板表面的圖像檢測出基板表面的缺陷。

這類的基板表面檢測裝置，使用單一種類的攝像機,對基板的下面和基板的邊緣部進行拍攝。因為在檢測基板整個表面時使用了高價的高速攝像機，從而導致制造基板表面檢測裝置所需的費用增加。

實用新型內(nèi)容

本實用新型為了解決上述以往技術的問題,本實用新型目的在于提供一種基板表面檢測裝置，通過使用規(guī)格不同的第1檢測單元及第2檢測單元，對基板的下面和基板的邊緣部進行檢測，從而降低制造基板表面檢測裝置所需的費用，加快基板表面的檢測過程。

本實用新型實施例中的一種基板表面檢測裝置可以包括：移送單元，用于移送基板；第1檢測單元，用于檢測基板的下面；以及第2檢測單元，用于檢測基板的邊緣部。

第1檢測單元包括:第1光源,向所述基板的下面照射光，以及第1攝像機,對所述基板的下面進行拍攝，以所述第1攝像機面向所述基板的角度可進行調(diào)節(jié)的方式設置所述第1攝像機。

第2檢測單元包括:第2光源,向所述基板的邊緣部照射光，以及第2攝像機,對所述基板的邊緣部進行拍攝，以所述第2攝像機面向所述基板的角度可進行調(diào)節(jié)的方式設置所述第2攝像機。

第1檢測單元包括拍攝所述基板的下面的第1攝像機，第2檢測單元包括拍攝所述基板的邊緣部的第2攝像機，第1攝像機相比于第2攝像機高速運行。

第1檢測單元包括拍攝基板的下面的第1攝像機，第2檢測單元包括拍攝基板的邊緣部的第2攝像機，與第2攝像機相比，第1攝像機拍攝寬領域。

實用新型效果

分別具備第1檢測單元和第2檢測單元，第1檢測單元對基板的下面進行要求高精密度的檢測項目；第2檢測單元對基板的邊緣部進行不要求高精密度的檢測項目。與構成第1檢測單元的第1攝像機的規(guī)格相比，構成第2檢測單元的第2攝像機的規(guī)格要低。所以，與檢測基板的下面和基板的邊緣部時使用單一類型的高價的高速攝像機相比，降低了制造基板表面檢測裝置所需的費用。

另外，基板依次通過第1檢測單元及第2檢測單元，基板的下面及基板的邊緣部依次接受檢測，所以可以加快基板表面的檢測過程。

附圖說明

圖1是概略表示本實用新型實施例中的基板表面檢測裝置的側視圖。

圖2是概略表示本實用新型實施例中的基板表面檢測裝置的平面圖。

圖3是概略表示本實用新型實施例中的基板表面檢測裝置的第1移送單元的側視圖。

圖4是本實用新型實施例中的基板表面檢測裝置的控制方塊圖。

圖5至圖9是依次表示本實用新型實施例中的基板表面檢測裝置的運行的概略圖。

附圖標記：

10:裝載臺

20:第1移送單元