[實(shí)用新型]一種芯片夾具拋光研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821889072.6
• 申請(qǐng)日: 2018-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN209078512U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何偉煒;楊明;印文健
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 眾瑞速聯(lián)（武漢）科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10
• 代理公司: 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11340
• 代理人: 楊文錄

本實(shí)用新型公開了芯片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域的一種芯片夾具拋光研磨裝置，包括42度研磨盤和研磨外盤，所述研磨外盤置于42度研磨盤外側(cè)，所述42度研磨盤內(nèi)部設(shè)有通孔，通孔中安裝有研磨配重支撐柱，所述研磨配重支撐柱外側(cè)壁焊接固定有連接座，所述42度研磨盤頂部通過螺栓與研磨配重支撐柱外側(cè)壁的連接座連接，所述研磨配重支撐柱四周通過螺栓安裝有墊高支撐。該芯片夾具拋光研磨裝置的設(shè)置，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，在研磨外盤上部設(shè)有42度研磨盤，完成平面波導(dǎo)光柵全反射角42度的拋光研磨，使該芯片的端面實(shí)現(xiàn)光的全反射功能，一個(gè)夾具能夠同時(shí)完成100顆芯片的拋光研磨，在保證產(chǎn)品功能的同時(shí)，提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率的一致性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種芯片夾具拋光研磨裝置。

背景技術(shù)

在電子學(xué)中是一種把電路(主要包括半導(dǎo)體設(shè)備，也包括被動(dòng)組件等)小型化的方式，并時(shí)常制造在半導(dǎo)體晶圓表面上.傳統(tǒng)的芯片拋光研磨裝置在使用時(shí)，不能保證對(duì)芯片研磨的一致性，從而降低了芯片的研磨質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種芯片夾具拋光研磨裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的不能對(duì)芯片進(jìn)行一致性的研磨的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種芯片夾具拋光研磨裝置，包括42度研磨盤和研磨外盤，所述研磨外盤置于42度研磨盤外側(cè)，所述42度研磨盤內(nèi)部設(shè)有通孔，通孔中安裝有研磨配重支撐柱，所述研磨配重支撐柱外側(cè)壁焊接固定有連接座，所述42度研磨盤頂部通過螺栓與研磨配重支撐柱外側(cè)壁的連接座連接，所述研磨配重支撐柱四周通過螺栓安裝有墊高支撐，所述42度研磨盤為方形結(jié)構(gòu)，所述42度研磨盤四邊開有凹型槽，凹型槽底部開有螺孔，凹型槽中設(shè)有第二支撐板，所述第二支撐板頂部設(shè)有第一支撐板，所述第一支撐板頂部設(shè)有緩沖板，所述緩沖板頂部設(shè)有壓板，所述緩沖板、壓板、第一支撐板和第二支撐板內(nèi)部開有通孔，所述緩沖板和壓板內(nèi)部開有螺孔，螺孔中連接有固定螺絲，所述螺栓依次穿過緩沖板、壓板、第一支撐板和第二支撐板內(nèi)部的通孔與凹型槽底部的螺孔連接。

優(yōu)選的，所述研磨配重支撐柱安裝于42度研磨盤頂部中心位置。

優(yōu)選的，所述墊高支撐設(shè)有四個(gè)，并且墊高支撐均勻分布于研磨配重支撐柱四周。

優(yōu)選的，所述研磨配重支撐柱頂部通過焊接固定有圓盤。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該芯片夾具拋光研磨裝置的設(shè)置，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，在研磨外盤上部設(shè)有42度研磨盤，完成平面波導(dǎo)光柵全反射角42度的拋光研磨，使該芯片的端面實(shí)現(xiàn)光的全反射功能，一個(gè)夾具能夠同時(shí)完成100顆芯片的拋光研磨，在保證產(chǎn)品功能的同時(shí)，提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率的一致性。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：42度研磨盤-1，研磨外盤-2，螺栓-3，固定螺絲-4，緩沖板-5，壓板-6，第一支撐板-7，第二支撐板-8，墊高支撐-9，研磨配重支撐柱-10。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。