[實(shí)用新型]一種化合物半導(dǎo)體外延尾氣回收利用裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821884830.5 | 申請日： | 2018-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN209306960U | 公開（公告）日： | 2019-08-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邱長春;朱利榮;于洋;樂昀;趙霖;邱浩銘;叢衛(wèi)軍;劉志超 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連中鼎化學(xué)有限公司;杭州士蘭微電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C01C1/02 | 分類號： | C01C1/02;C01B3/56;C01B21/04;F25J3/02 |
| 代理公司： | 大連智高專利事務(wù)所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 祝詩洋 |
| 地址： | 116039 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氮?dú)?/a> 化合物半導(dǎo)體 氫氣 回收 回收利用裝置 本實(shí)用新型 外延尾氣 資源綜合利用 放空 變溫吸附 分離凈化 回收利用 回收液氨 技術(shù)優(yōu)勢 節(jié)能環(huán)保 節(jié)能減排 器件生產(chǎn) 氫氣純度 投入生產(chǎn) 脫氣設(shè)備 顯著特點(diǎn) 氨分離 液氨 再沸 回收率 加壓 尾氣 應(yīng)用 生產(chǎn) | ||
1.一種化合物半導(dǎo)體外延尾氣回收利用裝置，其特征在于，包括依次連接的尾氣緩沖罐(1)、多級壓縮機(jī)(2)、低溫氨分離裝置(3)、變溫吸附脫氣裝置(5)和低溫再沸脫氣裝置(6)，以及相應(yīng)的閥門、管道管件和控制系統(tǒng)組成，噴淋水洗塔(4)設(shè)在變溫吸附脫氣裝置(5)和氨水出口之間的管路上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述的低溫氨分離裝置(3)中液氨儲存釜(301)位于低溫氨分離裝置(3)的底部，在液氨儲存釜(301)內(nèi)部設(shè)有制冷劑換熱器(302)，制冷劑換熱器(302)與外部冷凝蒸發(fā)熱交換器(307)連接，屏蔽泵(306)與液氨儲存釜(301)相連，用于將液氨儲存釜(301)冷凝的氨排出或用于變溫吸附工藝，液氨儲存釜(301)與脫氣塔(304)連接，在脫氣塔(304)的上部設(shè)有冷凝塔(303)，在冷凝塔(303)的頂部設(shè)有不凝氣體排放口，并與熱交換器(305)相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述脫氣塔(304)用金屬格柵分隔開上下兩部分，分別填裝金屬填料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述變溫吸附脫氣裝置(5)中設(shè)置了兩級串聯(lián)的噴淋水洗器，使再生解析吸附劑時，可以將解析出的氨捕捉下來。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，尾氣緩沖罐(1)可以采用無阻力的集中排放管道、儲氣罐或者密封好的氣囊中任一種裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，多級壓縮機(jī)(2)為無油的多級壓縮機(jī)。
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