[實(shí)用新型]一種面板調(diào)平機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821884691.6
• 申請(qǐng)日: 2018-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN209446723U
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋日文;王勝利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種面板調(diào)平機(jī)構(gòu)。所述面板調(diào)平機(jī)構(gòu)包括，機(jī)架；第一鉸接部，包括第一限位部和第一調(diào)位部；所述第一限位部設(shè)置有多個(gè)第一調(diào)位通孔，第一定位螺桿穿過所述第一調(diào)位通孔并螺接于機(jī)架；所述第一限位部設(shè)置有調(diào)位導(dǎo)軌；所述第一調(diào)位部設(shè)置有多個(gè)第二調(diào)位螺孔，升降螺桿連接于所述第二調(diào)位螺孔并止抵于機(jī)架，所述第一限位部設(shè)置有第一鎖緊通孔，第二定位螺桿穿過所述第一鎖緊通孔并螺接于機(jī)架；所述第一調(diào)位部設(shè)置有與調(diào)位導(dǎo)軌連接的調(diào)位滑槽；面板，樞接并止抵于第一調(diào)位部，所述面板能夠相對(duì)于所述機(jī)架翻轉(zhuǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種面板調(diào)平機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

對(duì)于半導(dǎo)體探針臺(tái)，由于將針卡安裝在面板上，為了保證測(cè)試的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性，需要保證面板保持設(shè)定的平面度。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決面板平面度的調(diào)試要求，本實(shí)用新型提出一種面板調(diào)平機(jī)構(gòu)。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：所述面板調(diào)平機(jī)構(gòu)包括，

機(jī)架；

第一鉸接部，包括第一限位部和第一調(diào)位部；所述第一限位部設(shè)置有多個(gè)第一調(diào)位通孔，第一定位螺桿穿過所述第一調(diào)位通孔并螺接于機(jī)架；所述第一限位部設(shè)置有調(diào)位導(dǎo)軌；所述第一調(diào)位部設(shè)置有多個(gè)第二調(diào)位螺孔，升降螺桿連接于所述第二調(diào)位螺孔并止抵于機(jī)架，所述第一限位部設(shè)置有第一鎖緊通孔，第二定位螺桿穿過所述第一鎖緊通孔并螺接于機(jī)架；所述第一調(diào)位部設(shè)置有與調(diào)位導(dǎo)軌連接的調(diào)位滑槽；

面板，樞接并止抵于第一調(diào)位部，所述面板能夠相對(duì)于所述機(jī)架翻轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步的，所述第一調(diào)位部設(shè)置有樞接孔；所述樞接孔包括錐形孔部；

所述面板包括第一樞軸，所述第一樞軸包括錐面部；

所述錐面部止抵于錐形孔部，所述第一樞軸樞接于樞接孔。

進(jìn)一步的，所述面板調(diào)平機(jī)構(gòu)還包括有，推力滾子軸承和軸向鎖緊螺釘；所述第一樞軸穿過樞接孔套設(shè)有推力滾子軸承，所述軸向鎖緊螺釘止抵于推力滾子軸承并螺接于第一樞軸，所述推力滾子軸承位于第一調(diào)位部和軸向鎖緊螺釘之間。

進(jìn)一步的，所述第一調(diào)位部設(shè)置有第二鎖緊通孔；調(diào)位鎖緊螺桿穿過所述第二鎖緊通孔螺接于第一限位部。

進(jìn)一步的，所述面板調(diào)平機(jī)構(gòu)還包括螺旋調(diào)平部，所述螺旋調(diào)平部設(shè)置有外螺紋螺接于機(jī)架，所述螺旋調(diào)平部一端設(shè)置有內(nèi)六角調(diào)節(jié)槽；所述機(jī)架設(shè)置有連通所述內(nèi)六角調(diào)節(jié)槽的調(diào)節(jié)孔，內(nèi)六角扳手能夠穿過所述調(diào)節(jié)孔到達(dá)所述內(nèi)六角調(diào)節(jié)槽。

進(jìn)一步的，所述螺旋調(diào)平部在遠(yuǎn)離內(nèi)六角調(diào)節(jié)槽的一端設(shè)置有內(nèi)螺紋；面板折疊后止抵于所述螺旋調(diào)平部靠近內(nèi)螺紋的一側(cè)；定位鎖緊螺桿穿過面板螺接于螺旋調(diào)平部的內(nèi)螺紋，面板止抵于螺旋調(diào)平部和定位鎖緊螺桿之間。

進(jìn)一步的，所述面板調(diào)平機(jī)構(gòu)包括調(diào)平鎖緊部，所述調(diào)平鎖緊部包括螺接凸環(huán)和卡接部，所述螺接凸環(huán)設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述卡接部為設(shè)置有貫穿通道，所述貫穿通道連通螺接凸環(huán)設(shè)置的內(nèi)螺紋，所述貫穿通道設(shè)置有裂口；所述調(diào)平鎖緊部固定于機(jī)架，所述螺旋調(diào)平部與螺接凸環(huán)的內(nèi)螺紋連接，所述螺旋調(diào)平部穿過所述貫穿通道；卡緊螺釘螺接于機(jī)架并止抵于裂口。

進(jìn)一步的，所述面板調(diào)平機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)螺旋調(diào)平部，所述兩個(gè)螺旋調(diào)平部分布于面板遠(yuǎn)離第一鉸接部一端。

進(jìn)一步的，所述面板調(diào)平機(jī)構(gòu)還包括第二鉸接部（62），所述第二鉸接部（62）和第一鉸接部（61）設(shè)置于面板（30）樞接軸兩端。

本實(shí)用新型的有益效果在于：面板在滿足翻轉(zhuǎn)的要求下，能夠通過調(diào)節(jié)升降螺桿和/或第一調(diào)位部相對(duì)于第一限位部的位置實(shí)現(xiàn)對(duì)面板平面度的調(diào)節(jié)。

附圖說明

圖1為半導(dǎo)體測(cè)試探針臺(tái)第一視角示意圖；