[實(shí)用新型]應(yīng)用于水平區(qū)熔法生長(zhǎng)超高純鍺單晶的設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821879283.1 | 申請(qǐng)日： | 2018-11-15 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN209052803U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李學(xué)洋;董汝昆;普世坤;惠峰;柳廷龍;張朋;鐘文;趙燕;滕文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 云南中科鑫圓晶體材料有限公司;昆明云鍺高新技術(shù)有限公司;云南鑫耀半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B29/08 | 分類號(hào)： | C30B29/08;C30B13/00 |
| 代理公司： | 昆明祥和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 53114 | 代理人： | 施建輝 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市高新*** | 國(guó)省代碼： | 云南;53 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石英管 石英舟 水平區(qū) 鍺單晶 支架 高頻感應(yīng)加熱線圈 本實(shí)用新型 小車 超高純 絲杠 生長(zhǎng) 高純半導(dǎo)體 金屬材料 節(jié)能環(huán)保 結(jié)構(gòu)科學(xué) 人力物力 設(shè)備應(yīng)用 絲杠固定 提純效果 污染環(huán)節(jié) 系統(tǒng)裝置 線圈套裝 滑動(dòng) 硅涂層 提純 高純 內(nèi)壁 絲桿 鍺料 平行 應(yīng)用 | ||
1.一種應(yīng)用于水平區(qū)熔法生長(zhǎng)超高純鍺單晶的設(shè)備，其特征在于該設(shè)備包括石英舟（1）、石英管（2）、高頻感應(yīng)加熱線圈（3）、支架（4）、絲桿（5）以及區(qū)熔小車（6），石英舟（1）放置在石英管（2）內(nèi)，石英管（2）固定在支架（4）上方；高頻感應(yīng)加熱線圈（3）設(shè)置在區(qū)熔小車（6）上，且區(qū)熔線圈套裝在石英管（2）外；絲杠固定在支架（4）底部，且與石英管（2）平行；區(qū)熔小車（6）設(shè)置在絲杠上，且沿絲杠滑動(dòng)；石英舟（1）內(nèi)壁上涂有硅涂層。
2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于水平區(qū)熔法生長(zhǎng)超高純鍺單晶的設(shè)備，其特征在于所述的區(qū)熔小車（6）底部設(shè)置有伸縮桿（7），伸縮桿（7）底部設(shè)置有螺母，螺母的螺紋與絲杠螺紋匹配。
3.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于水平區(qū)熔法生長(zhǎng)超高純鍺單晶的設(shè)備，其特征在于所述的石英管（2）兩端分別設(shè)置有進(jìn)氣口（8）和排氣口（9）。
4.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于水平區(qū)熔法生長(zhǎng)超高純鍺單晶的設(shè)備，其特征在于所述的支架（4）一端的底部還設(shè)置有升降裝置（10），升降裝置（10）包括固定塊和收縮桿，固定塊放置在臺(tái)面上，收縮桿頂部與絲杠一端連接，底部固定在固定塊上。
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