[實用新型]一種直拉法單晶爐取單晶保護裝置有效
| 申請號： | 201821875455.8 | 申請日： | 2018-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN209128588U | 公開（公告）日： | 2019-07-19 |
| 發明（設計）人： | 李鵬飛 | 申請（專利權）人： | 內蒙古中環領先半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 欒志超 |
| 地址： | 010070 內蒙古自*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶棒 單晶爐 單晶保護 副爐室 連接桿部 驅動旋轉 承托部 直拉法 本實用新型 驅動連接桿 底部出口 結構穩定 承托力 單晶 墜落 取出 安全 | ||
1.一種直拉法單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：所述單晶爐取單晶保護裝置設于單晶爐的副爐室上，包括單晶棒承托部、連接桿部和驅動旋轉部，所述連接桿部的一端通過所述驅動旋轉部與所述副爐室連接，所述連接桿部的另一端與所述單晶棒承托部連接，所述驅動旋轉部可驅動所述連接桿部旋轉將所述單晶棒承托部旋轉至所述副爐室的底部出口的下方。
2.根據權利要求1所述的單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：所述驅動旋轉部包括伸縮桿、轉接桿部和轉軸，所述伸縮桿的一端與所述副爐室鉸接，所述伸縮桿的伸縮端與所述轉接桿部的一端鉸接，所述轉接桿部的另一端與所述轉軸連接，所述轉軸與所述副爐室鉸接，所述連接桿部的一端與所述轉軸連接。
3.根據權利要求1所述的單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：所述驅動旋轉部為旋轉電機，所述旋轉電機的輸出軸與所述連接桿部的一端連接。
4.根據權利要求1-3任一所述的單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：所述驅動旋轉部和所述連接桿部均為兩個，分別設于所述副爐室的兩側，所述單晶棒承托部的兩側分別與兩個所述連接桿部的一端連接。
5.根據權利要求1-3任一所述的單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：所述單晶棒承托部為圓環狀承托盤。
6.根據權利要求1-3任一所述的單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：所述單晶棒承托部、所述連接桿部和所述驅動旋轉部為兩組，相互平行設于所述副爐室上，所述單晶棒承托部為半圓環狀承托盤。
7.根據權利要求6所述的單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：每組所述連接桿部包括兩個所述連接桿部，每組所述驅動旋轉部包括兩個驅動旋轉部，兩個所述連接桿部和所述驅動旋轉部分別設于所述副爐室的兩側。
8.根據權利要求2所述的單晶爐取單晶保護裝置，其特征在于：所述伸縮桿為電動伸縮桿或伸縮氣缸。
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