[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺及利用其進行硅片精對準(zhǔn)的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910247415.8
• 申請日: 2009-12-29
• 公開（公告）號: CN102109768A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃劍飛;齊芊楓;齊寧寧
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺，其特征在于，包括：吸附硅片的吸盤，工作臺，及旋轉(zhuǎn)電機，其中所述旋轉(zhuǎn)電機具有安裝在所述工作臺上的旋轉(zhuǎn)電機定子，安裝在所述吸盤中間的旋轉(zhuǎn)電機動子，及控制旋轉(zhuǎn)電機轉(zhuǎn)動的控制器，所述控制器設(shè)定后能夠控制所述旋轉(zhuǎn)電機動子轉(zhuǎn)動，從而驅(qū)動所述吸盤旋轉(zhuǎn)設(shè)定的角度。

2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺還包括工作臺底座，以及連接于工作臺及工作臺底座之間的垂向驅(qū)動器。

3.如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺，其特征在于，所述工作臺及吸盤上設(shè)有氣道結(jié)構(gòu)，包括：

設(shè)置在工作臺上的第一環(huán)形槽和設(shè)置在吸盤上的第二環(huán)形槽；

一端與所述第一環(huán)形槽連通，另一端與所述垂向驅(qū)動器連接的第一氣孔；

設(shè)置在工作臺上的氣浮孔，用于使工作臺和吸盤之間形成氣浮軸承連接；

設(shè)置在所述吸盤與工作臺連接處的泄壓槽；

對應(yīng)第二環(huán)形槽設(shè)置在吸盤表面用于吸附硅片的真空槽；以及

連接第二環(huán)形槽與所述真空槽的第二氣孔。

4.如權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺還包括用于將吸附在吸盤的上硅片頂起的機械手，以及驅(qū)動所述機械手的驅(qū)動單元。

5.如權(quán)利要求4所述的旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺，其特征在于，所述驅(qū)動單元包括：用于安裝所述機械手的機械手底座，與所述機械手底座連接并驅(qū)動其發(fā)生移動的音圈電機動子，及安裝在所述工作臺底座上的音圈電機定子。

6.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺，其特征在于，所述控制器是能夠?qū)πD(zhuǎn)電機進行閉環(huán)控制的編碼器。

7.一種使用權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺進行硅片精對準(zhǔn)的方法，其特征在于，包括步驟：

將硅片吸附在吸盤上，在硅片上曝光出對準(zhǔn)標(biāo)記；

利用旋轉(zhuǎn)式硅片承片臺對硅片進行在承片臺上的旋轉(zhuǎn)；以及

旋轉(zhuǎn)后再次曝光得到的比對標(biāo)記，建立所述比對標(biāo)記與對準(zhǔn)標(biāo)記的位置坐標(biāo)關(guān)系。