[實用新型]廠務系統潔凈室運維節能系統

有效

• 申請號: 201821867481.6
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN209085003U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 賈琨;沈潔;王立;項顥;徐超;李強;李錦生
• 申請（專利權）人: 中國電子工程設計院有限公司
• 主分類號: F24F11/58
• 分類號: F24F11/58;F24F11/88;F24F11/52;F24F11/89;F24F11/54;F24F11/46;F24F11/64;F24F11/38;F24F11/72
• 代理公司: 石家莊科誠專利事務所(普通合伙) 13113
• 代理人: 張紅衛;劉蘭芳

本實用新型公開了一種廠務系統潔凈室運維節能系統，包括數據采集傳感器、物聯網傳感器、決策器邏輯電路、至少一個現場控制器、遠端計算機；每一個現場控制器對應一組數據采集傳感器，每組數據采集傳感器包括第一～第五傳感器，第一～第五傳感器一方面與決策邏輯電路相連、另一方面與現場控制器相連；物聯網傳感器與決策器邏輯電路相連，決策邏輯電路與現場控制器相連，現場控制器與遠端計算機相連；現場控制器控制潔凈室的風量調節閥。本實用新型是數據采集和精確控制的優化裝置，在保障潔凈系統新風覆蓋和潔凈度指標要求下節能降耗，適用于優化廠務系統的潔凈室運維系統。

技術領域

本實用新型屬于廠務潔凈技術領域,用于優化廠務系統的潔凈室運維系統，具體地說是一種廠務系統潔凈室運維節能系統。

背景技術

在很多廠務系統（尤其是半導體廠務系統）中，潔凈室發揮著控制室內環境的重要作用。由于具備多項功能，潔凈室運行時會消耗大量的能源，而其中大部分的能耗都是由室內的空調通風系統運行產生的。所以，研究潔凈室空調通風系統的節能優化是一項關鍵的問題。

潔凈室的特性是濕、度設定點低，而且溫、濕度需要控制在精準規格內，再加上外氣補充量與循環氣量非常龐大，使得潔凈室耗能巨大。另外，潔凈室對于熱負荷并無法準確估計，且需長期穩定運行，因此設計了寬裕的安全系數。從節能而言，并非最佳，需在運維時根據潔凈室的耗能分布，制定節能策略，并調節。

根據對半導體廠耗能調查的統計，廠務系統的耗能占了整廠耗能的56.6%，而空調系統約占了全部耗能的40%，是最大的部分。空調系統中又以冰水主機的耗能占了全廠的27.2%，這顯示外氣除濕與潔凈室循環氣流的冷卻是最耗能的部分。核心生產部分光刻用電的比例較高。

現有技術中，潔凈室節能，首先需要采集溫濕度等數據，根據氣流循環與熱平衡計算熱負荷，再制定節能方案，一般有幾種節能措施：（1）降低外氣空調箱的送風溫度；（2）降低廢氣排放量；（3）降低潔凈室正壓的設定值；（4）使用熱管設計的外氣空調箱、（5）辦公室空調節能；（6）辦公室與停車場照明節能。在各項節約能源的方案中，以空調方面的措施效果最顯著。其中又以外氣空調箱的降低送風溫度與排氣合理化調整及減量是最有價值的做法。在外氣空調箱的設計上，如能應用熱管(冷媒或水為介質)可節省冰水與熱水的需求，如此可大幅降低運轉成本及冰機的容量。現有技術方案中，主要通過外氣空調箱的降低送風溫度與排氣合理化調整來實現節能降耗。但是降低送風溫度，減少排氣量可能會導致不能滿足潔凈室運行的溫度和正壓的情況，而且同時采用兩種方法是因目標不同，而產生沖突，如何協調兩種方法是目前存在的主要問題。另外，外部環境的不同，季節、時間的差異，進行節能優化的策略、方式與參數都有區別。

隨著物聯網和智能遠程運維信息技術的發展，人們對廠務系統潔凈室的運維節能系統的節能降耗效果有了更高的要求。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種廠務系統潔凈室運維節能系統，其基于實時數據采集和精確控制的優化裝置，在保障潔凈系統新風覆蓋和潔凈度指標要求下節能降耗。本實用新型為實現上述目的，所采用的技術方案如下：

一種廠務系統潔凈室運維節能系統，包括數據采集傳感器、物聯網傳感器、決策器邏輯電路、至少一個現場控制器、遠端計算機；

所述每一個現場控制器對應一組數據采集傳感器，每組數據采集傳感器包括用于采集新風系統補充外氣量的第一傳感器、用于采集新風系統循環氣量的第二傳感器和第三傳感器、用于采集新風系統排氣量的第四傳感器用于采集潔凈室的潔凈度數據的第五傳感器，第一～第五傳感器一方面與決策邏輯電路相連、另一方面與現場控制器相連；

所述物聯網傳感器的輸出端與決策器邏輯電路輸入端相連，決策邏輯電路與現場控制器相連，現場控制器與遠端計算機相連，遠端計算機包括策略庫存儲器，遠端計算機內設置有能耗分析平臺和能耗管理信息系統；