[實(shí)用新型]電池用硅片風(fēng)干槽

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821866827.0
• 申請日: 2018-11-13
• 公開（公告）號: CN210167328U
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李鑫;陳健生;許成德
• 申請（專利權(quán)）人: 橫店集團(tuán)東磁股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種電池用硅片風(fēng)干槽，設(shè)有槽體（3）和開口于槽體內(nèi)部的噴氣嘴（6），其特征是，所述槽體為封閉式；所述噴氣嘴通過氮?dú)廨斔凸埽?）連接高壓氮?dú)鈿庠础?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電池用硅片風(fēng)干槽，其特征是，還設(shè)有氮?dú)饧訜嵫b置（5），氮?dú)饧訜嵫b置位于氮?dú)廨斔凸苌嫌巍⒏邏旱獨(dú)鈿庠聪掠巍?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種電池用硅片風(fēng)干槽，其特征是，槽體為傾斜設(shè)置，下游端高于上游端；槽體內(nèi)安裝有滾軸式傳送機(jī)構(gòu)，滾軸式傳送機(jī)構(gòu)由若干滾軸（2）間隙連接形成，每個(gè)滾軸軸向均平行，滾軸和動(dòng)力設(shè)備連接；滾軸式傳送機(jī)構(gòu)傾斜設(shè)置，與槽體的傾斜角度一致。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種電池用硅片風(fēng)干槽，其特征是，滾軸的材質(zhì)為導(dǎo)電橡膠，且滾軸接地。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種電池用硅片風(fēng)干槽，其特征是，噴氣嘴均勻設(shè)置于滾軸式傳送機(jī)構(gòu)的上下兩側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種電池用硅片風(fēng)干槽，其特征是，所述槽體上設(shè)有氮?dú)饣厥展艿溃?）和氮?dú)饣厥胀埃?），氮?dú)饣厥展艿赖膬啥朔謩e連接槽體和氮?dú)饣厥展艿馈?/p>

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種電池用硅片風(fēng)干槽，其特征是，氮?dú)饣厥展艿郎洗?lián)設(shè)有至少3個(gè)空氣濾芯，空氣濾芯的過濾顆粒直徑從上游至下游依次減小。