[實用新型]雙層光波導支撐體模斑轉換器

有效

• 申請號: 201821860165.6
• 申請日: 2018-11-13
• 公開（公告）號: CN209417340U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 張仙;溫雪沁;劉柳;陳偉
• 申請（專利權）人: 蘇州易纜微光電技術有限公司
• 主分類號: G02B6/14
• 分類號: G02B6/14;G02B6/122;G02B6/138;G02B6/132
• 代理公司: 常州佰業騰飛專利代理事務所(普通合伙) 32231
• 代理人: 滕詣迪

1.一種雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于：包括襯底(1)，絕緣體層(2)，第一光波導(3)，第二光波導(4)，第三光波導(5)、第一支撐體(7)、第二支撐體(8)；所述絕緣體層(2)置于所述襯底(1)上；所述第一光波導(3)置于所述絕緣體層(2)上，所述第二光波導(4)置于所述絕緣體層(2)上并包裹所述第一光波導(3)，所述第三光波導(5)置于所述第二光波導(4)上，三個光波導形成多層光波導結構；所述第二光波導(4)、第三光波導(5)的錐形結構相向設置；所述第一光波導(3)與所述第二光波導(4)的錐形結構相對設置；所述第一支撐體(7)一側為鋸齒形結構并置于所述絕緣體層(2)上，所述第二支撐體(8)置于所述第一支撐體(7)上，并覆蓋第一支撐體(7)形成高度漸變支撐體；所述第一光波導(3)、第二光波導(4)、第三光波導(5)形成的多層光波導結構置于兩個高度漸變支撐體之間。

2.根據權利要求1所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于：還包括上包層(6)，位于第三光波導(5)上。

3.根據權利要求1所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于：所述襯底(1)為硅。

4.根據權利要求1所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于，所述第一光波導(3)為硅，厚度在300nm以下。

5.根據權利要求1所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于，所述第二光波導(4)為SU-8光刻膠，厚度在2-4um之間，非錐形的一側寬度在11-13um之間。

6.根據權利要求1所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于，所述第三光波導(5)為SU-8光刻膠，厚度在6-8um之間，非錐形的一側寬度在11-13um之間。

7.根據權利要求1所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于，所述第一支撐體(7)為SU-8光刻膠，厚度在2-4um之間，所述第一支撐體(7)與所述第二光波導(4)、所述第三光波導(5)錐形結構相向的一側為鋸齒狀結構，支撐體的面積越來越小。

8.根據權利要求1所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于，所述第二支撐體(8)為SU-8光刻膠，厚度在6-8um之間。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的雙層光波導支撐體模斑轉換器，其特征在于，所述第二光波導(4)、所述第三光波導(5)非錐形的一側寬度相等。