[實(shí)用新型]一體式石英雙振梁加速度計(jì)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821855067.3
• 申請(qǐng)日: 2018-11-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208953556U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張照云;劉顯學(xué);李枚;屈明山;沈朝陽(yáng);許蔚;彭勃;熊壯;蘇偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號(hào): G01P15/097
• 分類號(hào): G01P15/097
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，該一體式石英雙振梁加速度計(jì)包括：一體成型的裝配區(qū)、撓性梁、振梁、質(zhì)量塊及金屬電極，所述質(zhì)量塊通過(guò)所述撓性梁及所述振梁連接于所述裝配區(qū)；

其中，所述振梁包括第一直梁及第二直梁，所述第一直梁及所述第二直梁并列設(shè)置，所述第一直梁及所述第二直梁的一端連接于所述裝配區(qū)，另一端連接于所述質(zhì)量塊，所述金屬電極設(shè)置所述第一直梁及所述第二直梁上，所述第一直梁及所述第二直梁上的金屬電極的極性相反；

其中，所述撓性梁包括兩個(gè)連接梁，兩個(gè)連接梁位于所述振梁的兩側(cè)，所述撓性梁的一端連接于所述裝配區(qū)，另一端連接于所述質(zhì)量塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述裝配區(qū)及所述質(zhì)量塊為凹字形，所述凹字形的缺口為凹陷區(qū)，所述質(zhì)量塊位于所述裝配區(qū)的凹陷區(qū)內(nèi)，所述質(zhì)量塊的凹陷區(qū)朝向所述裝配區(qū)的凹陷區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述裝配區(qū)與所述質(zhì)量塊中線處于一條直線上，使所述一體式石英雙振梁加速度計(jì)呈軸對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述振梁的一端連接于所述質(zhì)量塊的凹陷區(qū)，另一端連接于所述裝配區(qū)，所述第一直梁與所述第二直梁以質(zhì)量塊的中線為軸線對(duì)稱設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述撓性梁的一端連接于所述質(zhì)量塊為凹字形的突出部，另一端連接于所述裝配區(qū)，兩個(gè)所述連接梁以所述裝配區(qū)的中線為軸線對(duì)稱設(shè)置在所述振梁的兩側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述撓性梁及振梁的厚度相同，所述撓性梁及振梁的厚度小于所述裝配區(qū)及所述質(zhì)量塊的厚度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述撓性梁的一端連接于所述裝配區(qū)的下表面，另一端連接于所述質(zhì)量塊的下表面，所述振梁的一端連接于所述裝配區(qū)的上表面，另一端連接于所述質(zhì)量塊的上表面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一體式石英雙振梁加速度計(jì)，其特征在于，所述金屬電極包括第一電極、第二電極及引線；

其中，所述第一電極包括第一左電極、第一中電極、第一右電極；所述第二電極包括第二左電極、第二中電極、第二右電極；所述引線包括第一引線及第二引線；

其中，所述第一電極設(shè)置在所述第一直梁上，所述第二電極設(shè)置在所述第二直梁上；

其中，所述第一左電極位于所述第一中電極左側(cè)，所述第一右電極位于所述第一中電極右側(cè)；所述第二左電極位于所述第二中電極左側(cè)，所述第二右電極位于所述第二中電極右側(cè)；

其中，所述第一左電極連接于所述第一右電極，而后連接于所述第二中電極，所述第二左電極連接于所述第二右電極，而后連接于所述第一中電極；

其中，所述第一引線連接于所述第一左電極，所述第二引線連接于所述第一中電極及所述第二右電極。