[實用新型]一體式石英雙振梁加速度計有效
| 申請號： | 201821855067.3 | 申請日： | 2018-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN208953556U | 公開（公告）日： | 2019-06-07 |
| 發明（設計）人： | 張照云;劉顯學;李枚;屈明山;沈朝陽;許蔚;彭勃;熊壯;蘇偉 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院電子工程研究所 |
| 主分類號： | G01P15/097 | 分類號： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 621000*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直梁 加速度計 一端連接 撓性梁 質量塊 裝配區 石英 金屬電極 連接梁 本實用新型 一體成型的 并列設置 極性相反 一體成型 真空封裝 分體式 易加工 裝配 | ||
1.一種一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，該一體式石英雙振梁加速度計包括：一體成型的裝配區、撓性梁、振梁、質量塊及金屬電極，所述質量塊通過所述撓性梁及所述振梁連接于所述裝配區；
其中，所述振梁包括第一直梁及第二直梁，所述第一直梁及所述第二直梁并列設置，所述第一直梁及所述第二直梁的一端連接于所述裝配區，另一端連接于所述質量塊，所述金屬電極設置所述第一直梁及所述第二直梁上，所述第一直梁及所述第二直梁上的金屬電極的極性相反；
其中，所述撓性梁包括兩個連接梁，兩個連接梁位于所述振梁的兩側，所述撓性梁的一端連接于所述裝配區，另一端連接于所述質量塊。
2.根據權利要求1所述的一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，所述裝配區及所述質量塊為凹字形，所述凹字形的缺口為凹陷區，所述質量塊位于所述裝配區的凹陷區內，所述質量塊的凹陷區朝向所述裝配區的凹陷區。
3.根據權利要求2所述的一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，所述裝配區與所述質量塊中線處于一條直線上，使所述一體式石英雙振梁加速度計呈軸對稱結構。
4.根據權利要求2所述的一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，所述振梁的一端連接于所述質量塊的凹陷區，另一端連接于所述裝配區，所述第一直梁與所述第二直梁以質量塊的中線為軸線對稱設置。
5.根據權利要求2所述的一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，所述撓性梁的一端連接于所述質量塊為凹字形的突出部，另一端連接于所述裝配區，兩個所述連接梁以所述裝配區的中線為軸線對稱設置在所述振梁的兩側。
6.根據權利要求1所述的一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，所述撓性梁及振梁的厚度相同，所述撓性梁及振梁的厚度小于所述裝配區及所述質量塊的厚度。
7.根據權利要求6所述的一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，所述撓性梁的一端連接于所述裝配區的下表面，另一端連接于所述質量塊的下表面，所述振梁的一端連接于所述裝配區的上表面，另一端連接于所述質量塊的上表面。
8.根據權利要求1所述的一體式石英雙振梁加速度計，其特征在于，所述金屬電極包括第一電極、第二電極及引線；
其中，所述第一電極包括第一左電極、第一中電極、第一右電極；所述第二電極包括第二左電極、第二中電極、第二右電極；所述引線包括第一引線及第二引線；
其中，所述第一電極設置在所述第一直梁上，所述第二電極設置在所述第二直梁上；
其中，所述第一左電極位于所述第一中電極左側，所述第一右電極位于所述第一中電極右側；所述第二左電極位于所述第二中電極左側，所述第二右電極位于所述第二中電極右側；
其中，所述第一左電極連接于所述第一右電極，而后連接于所述第二中電極，所述第二左電極連接于所述第二右電極，而后連接于所述第一中電極；
其中，所述第一引線連接于所述第一左電極，所述第二引線連接于所述第一中電極及所述第二右電極。
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