[實(shí)用新型]一種節(jié)約高效的半導(dǎo)體研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821854123.1
• 申請(qǐng)日: 2018-11-12
• 公開（公告）號(hào): CN209050585U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈良霖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江雅市晶科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/00
• 分類號(hào): B24B37/00
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11385
• 代理人: 董芙蓉

1.一種節(jié)約高效的半導(dǎo)體研磨裝置，其特征在于，包括有研磨箱（1），所述研磨箱（1）的內(nèi)底壁固定連接有旋轉(zhuǎn)箱（2），所述旋轉(zhuǎn)箱（2）的兩側(cè)內(nèi)壁均固定連接有第一電機(jī)底板（3），所述第一電機(jī)底板（3）的表面固定連接有第一電機(jī)（4），所述第一電機(jī)（4）的輸出軸通過聯(lián)軸器固定連接有托盤軸（5），所述托盤軸（5）的一端貫穿并延伸至旋轉(zhuǎn)箱（2）的表面，所述托盤軸（5）的一端固定連接有半導(dǎo)體安裝板（6），所述半導(dǎo)體安裝板（6）的上表面與半導(dǎo)體的表面固定連接，所述旋轉(zhuǎn)箱（2）的內(nèi)底壁固定連接有第一軸承（7），所述第一軸承（7）的內(nèi)圈與托盤軸（5）的表面固定連接；

所述研磨箱（1）的一側(cè)表面固定連接有研磨液箱（8），所述研磨液箱（8）的頂部固定連通有進(jìn)液管（9），所述進(jìn)液管（9）的表面固定連接有第一閥門（10），所述研磨液箱（8）的底部固定連通出液管（11），所述出液管（11）的表面固定連接有第二閥門（12），所述出液管（11）的一端貫穿并延伸至研磨箱（1）內(nèi)部；

所述研磨箱（1）的另一側(cè)表面固定連接有固定箱（13），所述研磨箱（1）的表面固定連通有限位套（14），所述固定箱（13）的兩側(cè)內(nèi)壁均固定連接有第二電機(jī)底板（15），所述第二電機(jī)底板（15）的表面固定連接有第二電機(jī)（16），所述第二電機(jī)（16）的輸出軸通過聯(lián)軸器固定連接有螺紋桿（17），所述螺紋桿（17）的表面螺紋連接有螺紋套（18），所述螺紋套（18）的表面與限位套（14）的表面滑動(dòng)插接，所述限位套（14）的內(nèi)壁固定連接有第一限位開關(guān)（19），所述固定箱（13）的內(nèi)頂壁固定連接有限位塊（20），所述限位塊（20）的表面固定連接有第二限位開關(guān)（21）；

所述螺紋套（18）的一端固定連接有固定管（22），所述固定管（22）的一端固定連接有移動(dòng)箱（23），所述移動(dòng)箱（23）的內(nèi)頂壁固定連接有第三電機(jī)底板（24），所述第三電機(jī)底板（24）的表面固定連接有第三電機(jī)（25），所述第三電機(jī)（25）的輸出軸通過聯(lián)軸器固定連接有研磨軸（26），所述研磨軸（26）的一端貫穿移動(dòng)箱（23）并延伸至固定管（22）的表面，所述固定管（22）的另一端內(nèi)壁固定連接有軸承固定塊（27），所述軸承固定塊（27）的表面固定連接有第二軸承（28），所述第二軸承（28）的內(nèi)圈與研磨軸（26）的表面固定連接，所述研磨軸（26）的一端開設(shè)有伸縮孔（29），所述伸縮孔（29）的內(nèi)壁滑動(dòng)插接有固定桿（30），所述固定桿（30）的一端固定連接有研磨石（31）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約高效的半導(dǎo)體研磨裝置，其特征在于：所述研磨箱（1）的底部固定連接有支撐腿（32），多個(gè)所述支撐腿（32）的表面均固定連接有加強(qiáng)腿（33），所述研磨箱（1）的表面鉸接有操作門，所述操作門的表面設(shè)置有門鎖。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約高效的半導(dǎo)體研磨裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)箱（2）的頂部固定連接有密封圈（34），所述密封圈（34）的內(nèi)壁與托盤軸（5）的表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約高效的半導(dǎo)體研磨裝置，其特征在于：所述研磨箱（1）的內(nèi)側(cè)壁和旋轉(zhuǎn)箱（2）的表面均固定連接有過濾網(wǎng)（35），所述研磨箱（1）的內(nèi)側(cè)壁固定連接有水泵（36），所述水泵（36）的型號(hào)為RGB15-15，所述水泵（36）位于過濾網(wǎng)（35）的下方，所述水泵（36）的出水端固定連接有出水管（37），所述出水管（37）的表面貫穿并延伸至研磨箱（1）的表面，所述出水管（37）的一端與研磨液箱（8）的表面固定連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約高效的半導(dǎo)體研磨裝置，其特征在于：所述研磨軸（26）的表面開設(shè)有鎖緊孔（38），所述鎖緊孔（38）的內(nèi)壁固定連接有鎖緊螺釘（39）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種節(jié)約高效的半導(dǎo)體研磨裝置，其特征在于：所述第一電機(jī)（4）的型號(hào)為42HS6023A4，所述第二電機(jī)（16）的型號(hào)為ZYTD-60SRZ-R2，所述第一限位開關(guān)（19）和第二限位開關(guān)（21）的型號(hào)為 YBLXW-5-11G2，所述第三電機(jī)（25）的型號(hào)為60HS10014A4。