[實(shí)用新型]一種蒸鍍裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821852911.7
• 申請(qǐng)日: 2018-11-09
• 公開（公告）號(hào): CN208965021U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉東升;周梁;陳玉;周濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/26
• 分類號(hào): C23C14/26
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤(rùn)湘

本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種蒸鍍裝置，該蒸鍍裝置包括：蒸發(fā)源，蒸發(fā)源的一側(cè)設(shè)有蒸氣出口；彈性蒸鍍腔體，彈性蒸鍍腔體設(shè)有進(jìn)氣口，彈性蒸鍍腔體背離進(jìn)氣口的一側(cè)設(shè)有出氣口，進(jìn)氣口與蒸發(fā)源的蒸氣出口連接，且彈性蒸鍍腔體的腔體壁設(shè)有調(diào)溫層；與彈性蒸鍍腔體連接的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；噴嘴，噴嘴與彈性蒸鍍腔體的出氣口連接。該蒸鍍裝置中，彈性蒸鍍腔體可以擴(kuò)張或收縮以增大或減小容積以收容氣態(tài)材料，且彈性蒸鍍腔體的腔體壁中設(shè)置有調(diào)溫層可以保障在彈性蒸鍍腔體內(nèi)的氣態(tài)材料維持氣態(tài)，增加了蒸鍍材料的利用率，減少停機(jī)維護(hù)清洗次數(shù)，從而提高產(chǎn)能，且使彈性蒸鍍腔體內(nèi)的氣態(tài)材料有更好的均一性，有利于提高蒸鍍膜層厚度的均一性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

在顯示基板的膜層制備過程中，蒸鍍技術(shù)是常用的一種膜層制備技術(shù)，蒸鍍裝置是蒸鍍過程中至關(guān)重要的設(shè)備，目前，用于生成OLED顯示器件的有機(jī)材料發(fā)光層的蒸鍍裝置，其對(duì)有機(jī)材料的利用率較低，不足10％，而有機(jī)發(fā)光材料價(jià)格昂貴，因此容易造成極大地材料成本浪費(fèi)，并且會(huì)造成部分有機(jī)材料蒸發(fā)后在設(shè)備內(nèi)部冷凝附著，增加了停機(jī)維護(hù)清洗的次數(shù)，且增加了設(shè)備內(nèi)部冷凝附著的有機(jī)材料脫落形成顆粒異物的風(fēng)險(xiǎn)，進(jìn)而會(huì)影響玻璃基板上蒸鍍生成均勻膜層，從而造成顯示器件顯示不良。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供了一種蒸鍍裝置，該述蒸鍍裝置中，彈性蒸鍍腔體可以擴(kuò)張或收縮以增大或減小容積以收容氣態(tài)材料，且彈性蒸鍍腔體的腔體壁中設(shè)置有調(diào)溫層可以保障在彈性蒸鍍腔體內(nèi)的氣態(tài)材料維持氣態(tài)，有效增加了蒸鍍材料的利用率，減少停機(jī)維護(hù)清洗次數(shù)，從而提高產(chǎn)能，且使彈性蒸鍍腔體內(nèi)的氣態(tài)材料有更好的均一性，有利于提高蒸鍍膜層厚度的均一性。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案：

一種蒸鍍裝置，包括：

蒸發(fā)源，所述蒸發(fā)源設(shè)有蒸氣出口；

彈性蒸鍍腔體，所述彈性蒸鍍腔體設(shè)有進(jìn)氣口，所述彈性蒸鍍腔體背離所述進(jìn)氣口的一側(cè)設(shè)有出氣口，所述進(jìn)氣口與所述蒸發(fā)源的蒸氣出口連接，且所述彈性蒸鍍腔體的腔體壁設(shè)有調(diào)溫層；

與所述彈性蒸鍍腔體連接、且用于控制所述彈性蒸鍍腔體收縮或擴(kuò)張的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

噴嘴，所述噴嘴與所述彈性蒸鍍腔體的出氣口連接。

上述蒸鍍裝置中，蒸發(fā)源的蒸氣出口與彈性蒸鍍腔體的進(jìn)氣口連接，彈性蒸鍍腔體的出氣口與噴嘴連接，蒸發(fā)源將材料蒸發(fā)成氣態(tài)，通過彈性蒸鍍腔體然后從噴嘴噴出，將材料蒸鍍到顯示基板上形成一定厚度的膜層，其中，本實(shí)施例中的彈性蒸鍍腔體具有一定的伸縮性，即可以將彈性蒸鍍腔體設(shè)置為柔性結(jié)構(gòu)的蒸鍍腔體，或者將彈性蒸鍍腔體的部分結(jié)構(gòu)設(shè)置為柔性結(jié)構(gòu)，彈性蒸鍍腔與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，彈性蒸鍍腔體可以擴(kuò)張以擴(kuò)大容積，也可以收縮以縮小容積，且彈性蒸鍍腔體的腔體壁設(shè)有調(diào)溫層，可以對(duì)彈性蒸鍍腔體內(nèi)部進(jìn)行調(diào)節(jié)溫度，當(dāng)蒸發(fā)源中的材料蒸發(fā)成氣態(tài)，進(jìn)入彈性蒸鍍腔體內(nèi)部，當(dāng)需要對(duì)顯示基板進(jìn)行蒸鍍時(shí)，彈性蒸鍍腔體收縮，容積變小，提高彈性蒸鍍腔體內(nèi)的氣態(tài)材料的濃度，是較高濃度的氣態(tài)材料可以順利通過氣嘴噴出，對(duì)顯示基板進(jìn)行蒸鍍，當(dāng)停止蒸鍍作業(yè)，則彈性蒸鍍腔體擴(kuò)張，容積變大，將氣態(tài)材料收容在容積變大之后的彈性蒸鍍腔體內(nèi)，以備下一次蒸鍍作業(yè)時(shí)，收縮彈性蒸鍍腔體進(jìn)行蒸鍍作業(yè)，在停止蒸鍍作業(yè)時(shí)，將氣態(tài)材料收容于容積擴(kuò)大的彈性蒸鍍腔體內(nèi)，且彈性蒸鍍腔體的腔體壁設(shè)置有調(diào)溫層，可以使彈性蒸鍍腔體內(nèi)有適宜的溫度，可以保障彈性蒸鍍腔體內(nèi)的氣態(tài)材料保持氣體狀態(tài)，避免在彈性蒸鍍腔體內(nèi)壁凝固聚集，降低蒸鍍材料形成顆粒影響形成的蒸鍍膜層，有效提高蒸鍍材料的利用率，尤其是現(xiàn)在有機(jī)發(fā)光材料比較昂貴，可以有效節(jié)約有機(jī)發(fā)光材料，提高有機(jī)發(fā)光材料的利用率，且減少停機(jī)維護(hù)清洗次數(shù)，提高產(chǎn)能；另外，上述彈性蒸鍍腔體的結(jié)構(gòu)還可以使氣態(tài)材料在彈性蒸鍍腔體內(nèi)更好的均一化，可以有利于提高蒸鍍膜層厚度的均一性。