[實用新型]預烘烤設備及預烘烤系統

有效

• 申請號: 201821851748.2
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN209205711U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 羅帥
• 申請（專利權）人: 成都中電熊貓顯示科技有限公司
• 主分類號: B05D3/02
• 分類號: B05D3/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 張子青;劉芳

本實用新型提供一種預烘烤設備及預烘烤系統。其中，預烘烤設備包括：第一加熱件、第二加熱件以及箱體；箱體形成有用于容納第一加熱件和第二加熱件的容納腔，且第一加熱件位于容納腔沿垂向的底部，第二加熱件位于容納腔沿垂向的頂部，且第一加熱件的頂面形成有用于放置基板的安裝面。本實用新型還提供一種預烘烤系統，包括基板以及預烘烤設備，基板放置在第一加熱件的安裝面上。本實用新型提供的預烘烤設備及預烘烤系統，第二加熱件可以產生熱量，從而提升容納腔頂部的溫度，避免光阻升華物凝結在容納腔的頂部，進而提高基板及顯示設備的良率。

技術領域

本實用新型涉及顯示設備技術領域，尤其涉及一種預烘烤設備及預烘烤系統。

背景技術

在顯示設備加工過程中，一般需要進行多次預烘烤，預烘烤的作用是將涂布在基板上的光阻溶劑加熱進行揮發，保證基板上的膜面顏色均一。

現有技術中，預烘烤一般使用預烘烤設備，預烘烤設備包括箱體以及設置在箱體里的加熱件，光阻涂布在基板上后，可以將基板放置于加熱件上，加熱件可以對基板進行加熱，從而在基板表面形成顏色均勻的膜面。

但是，基板上的光阻在加熱過程中會產生光阻升華物，光阻升華物在受熱向上運動的過程中遇到溫度較低的箱體頂部會產生凝結，當凝結量較多時，凝結的光阻升華物會滴落到基板上，降低基板的良率。

實用新型內容

本實用新型實施例提供一種預烘烤設備及預烘烤系統，以克服現有技術中基板良率低的問題。

本實用新型實施例提供一種預烘烤設備，包括：第一加熱件、第二加熱件以及箱體。

所述箱體形成有用于容納所述第一加熱件和所述第二加熱件的容納腔，且所述第一加熱件位于所述容納腔沿垂向的底部，所述第二加熱件位于所述容納腔沿所述垂向的頂部，且所述第一加熱件的頂面形成有用于放置基板的安裝面。

如上所述的預烘烤設備，其中，所述箱體包括頂壁、底壁以及連接在所述頂壁及所述底壁之間的側壁，所述頂壁、所述底壁以及所述側壁共同圍成所述容納腔；所述第一加熱件設置在所述底壁上，所述第二加熱件設置在所述頂壁上。

如上所述的預烘烤設備，其中，所述第二加熱件沿平行于所述頂壁的平面延伸，且所述第二加熱件正對所述第一加熱件設置。

如上所述的預烘烤設備，其中，所述第二加熱件的數量為多個，多個所述第二加熱件間隔設置在所述頂壁上。

如上所述的預烘烤設備，其中，所述第二加熱件包括碳纖維板或熱電阻。

如上所述的預烘烤設備，其中，所述預烘烤設備還包括可拆卸連接在所述頂壁上的安裝板，所述安裝板正對所述第一加熱件設置；所述第二加熱件固定在所述安裝板及所述頂壁之間，且所述第二加熱件用于加熱所述安裝板。

如上所述的預烘烤設備，所述預烘烤設備還包括控制器以及第一溫度傳感器，第一溫度傳感器用于檢測所述安裝面的第一溫度，所述控制器與所述第一溫度傳感器及所述第二加熱件連接，所述控制器用于當所述第一溫度達到預設溫度后，控制所述第二加熱件停止加熱。

如上所述的預烘烤設備，所述預烘烤設備還包括抽氣裝置，所述抽氣裝置包括抽風機以及連接管；所述側壁上形成有連通孔，所述連接管的一端與所述連通孔連接，所述連接管的另一端與所述抽風機連接，所述抽風機用于抽出所述容納腔內的氣體。

如上所述的預烘烤設備，其中，所述側壁上形成有開口，所述開口安裝有門體。

本實用新型實施例還提供一種預烘烤系統，包括基板以及所述的預烘烤設備，所述基板放置在所述第一加熱件的安裝面上。