[實用新型]一種硅烷法生產(chǎn)電子級多晶硅熱分解爐石墨底座安裝工具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821850987.6
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN209367810U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡前進;許鵬;楊鵬舉
• 申請（專利權(quán)）人: 河南硅烷科技發(fā)展股份有限公司
• 主分類號: C01B33/027
• 分類號: C01B33/027
• 代理公司: 許昌豫創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41140
• 代理人: 李海帆

本實用新型涉及一種硅烷法生產(chǎn)電子級多晶硅熱分解爐石墨底座安裝工具，包括限位裝置和連接裝置，限位裝置有兩個，分別位于連接裝置的兩側(cè)，通過連接裝置相互轉(zhuǎn)動連接，限位裝置包括拉環(huán)和夾塊，拉環(huán)下端設(shè)置有固定桿和連桿，固定桿設(shè)置于拉環(huán)的一端，連桿上端與拉環(huán)上弧形面的中間位置固定連接，下端與夾塊固定連接，夾塊包括連接塊和弧形限位塊，弧形限位塊外端通過連接塊與連桿的下端固定連接，內(nèi)端設(shè)置有防滑橡膠墊，弧形限位塊的上表面設(shè)置有卡塊；連接裝置包括套管和轉(zhuǎn)桿，轉(zhuǎn)桿和套管分別與兩個限位裝置上的固定桿固定連接，套管的中間位置通孔，轉(zhuǎn)桿兩端通過固定件與固定桿固定連接；本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理、使用及安裝方便的優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于多晶硅加工工具技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅烷法生產(chǎn)電子級多晶硅熱分解爐石墨底座安裝工具。

背景技術(shù)

多晶硅在加工的過程中，須將石墨底座安裝在銅電極頭上，為了更好更穩(wěn)定的實現(xiàn)石墨底座和銅電極頭之間的連接，采用在銅電極頭上設(shè)置外螺紋，在石墨底座下端安裝槽內(nèi)設(shè)置內(nèi)螺紋，利用外螺紋和內(nèi)螺紋之間的螺紋連接，從而完成其之間的相互連接；但是，銅電極頭位于導(dǎo)熱油夾套管內(nèi)部的底端，且現(xiàn)有的導(dǎo)熱油夾套管規(guī)格大都是深2.5米，內(nèi)徑160mm，由頂部向下安裝時，由于導(dǎo)熱油夾套管的深度較深、內(nèi)徑較小，安裝時非常麻煩；因此，為解決上述問題，開發(fā)一種結(jié)構(gòu)合理、使用及安裝方便的多晶硅熱分解爐用安裝石墨底座的工具很有必要。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種結(jié)構(gòu)合理、使用及安裝方便的用于安裝石墨底座的工具。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：一種硅烷法生產(chǎn)電子級多晶硅熱分解爐石墨底座安裝工具，包括限位裝置和連接裝置，所述限位裝置有兩個，呈對稱狀設(shè)置于所述連接裝置的兩側(cè)，并通過連接裝置相互轉(zhuǎn)動連接，所述限位裝置包括拉環(huán)和夾塊，所述拉環(huán)為半圓形結(jié)構(gòu)，其下端設(shè)置有固定桿和連桿，所述固定桿垂直固定設(shè)置于所述拉環(huán)的一端，所述連桿上端與所述拉環(huán)上弧形面的中間位置固定連接，下端的內(nèi)表面與所述夾塊固定連接，所述夾塊包括連接塊和弧形限位塊，所述連接塊固定設(shè)置于所述弧形限位塊的外表面，弧形限位塊外端通過連接塊與所述連桿的下端固定連接，內(nèi)端固定設(shè)置有與其結(jié)構(gòu)相配合的防滑橡膠墊，所述弧形限位塊的上表面固定設(shè)置有卡塊；所述連接裝置包括套管和轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿和所述套管分別與兩個限位裝置上的固定桿固定連接，所述套管的中間位置設(shè)置有與所述轉(zhuǎn)桿結(jié)構(gòu)相配合的通孔，所述轉(zhuǎn)桿的兩端均固定設(shè)置有固定件，通過固定件與固定桿固定連接。

所述連接塊位于所述弧形限位塊外表面的中間位置，相互之間為一體式連接。

所述弧形限位塊的弧形角度為90^o，其圓心與所述拉環(huán)上弧形面的圓心相重合。

所述弧形限位塊的厚度與所述連接塊的厚度相同

所述卡塊為圓柱狀結(jié)構(gòu)。

所述轉(zhuǎn)桿和所述套管分別與兩個限位裝置上固定桿的中間位置固定連接。

所述轉(zhuǎn)桿和所述固定桿呈平形狀，相互之間未接觸。

本實用新型的有益效果：本實用新型通過在弧形限位塊上端固定設(shè)置卡塊，利用卡塊和石墨底座下表面卡槽之間的配合連接，從而完成夾塊和石墨底座之間的限位連接，通過在弧形限位塊的內(nèi)表面設(shè)置防滑橡膠墊，在轉(zhuǎn)動限位裝置使夾塊與石墨底座之間緊密連接后，利用防滑橡膠墊與石墨底座外表面之間的摩擦力作用，通過轉(zhuǎn)動拉環(huán)從而完成對石墨底座和銅電極頭之間螺紋連接的緊固，進而完成石墨底座和銅電極頭之間的緊密連接，解決了由于導(dǎo)熱油夾套管的深度較深、內(nèi)徑較小，石墨底座和銅電極頭之間連接時安裝非常麻煩的問題；總的，本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理、使用及安裝方便的優(yōu)點。

附圖說明

圖1是本實用新型的俯視圖。

圖2是本實用新型的正視圖。