[實用新型]天車裝置及物料搬送裝置

有效

• 申請號: 201821846176.9
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN209065300U
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發明（設計）人: 卓飛
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B66C15/06
• 分類號: B66C15/06;B66C15/00;B66C13/16;B66C1/10;B66C13/08
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

本公開提供一種天車裝置及物料搬送裝置。該天車裝置包括行駛組件、抓取組件、升降機構、第一檢測裝置以及控制裝置。該行駛組件能夠沿著懸空設置的軌道移動。該抓取組件用于抓取或松開晶圓盒。該升降機構連接于行駛組件與抓取組件之間，用于驅動抓取組件在豎直方向上移動。該第一檢測裝置在水平方向上位于抓取組件的一側，并與抓取組件連接，用于檢測第一檢測裝置正下方的預設范圍內是否存在障礙物，且在第一檢測裝置正下方的預設范圍內存在障礙物時，發出第一信號。該控制裝置用于在接收到第一信號時，控制抓取組件保持松開狀態。本公開能夠避免由于晶圓盒的蓋體未關閉所引發的安全事故。

技術領域

本公開涉及半導體集成電路中自動物料搬送技術領域，尤其涉及一種天車裝置及物料搬送裝置。

背景技術

在半導體器件的制備過程中，常常采用天車裝置(OHT，Overhead HoistTransfer)來搬運容置晶圓的晶圓盒。

該晶圓盒的側壁設有能打開或關閉該晶圓盒的蓋體，且該蓋體能與晶圓盒分離。在搬運過程中，若晶圓盒的蓋體傾斜，即處于未關閉的狀態時，該蓋體容易墜落，從而引發安全事故。

需要說明的是，在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

實用新型內容

本公開的目的在于提供一種天車裝置及物料搬送裝置，能夠避免由于晶圓盒的蓋體未關閉所引發的安全事故。

根據本公開的一個方面，提供一種天車裝置，包括行駛組件、抓取組件、升降機構、第一檢測裝置以及控制裝置。所述行駛組件能夠沿著懸空設置的軌道移動。所述抓取組件能夠抓取或松開晶圓盒。所述升降機構連接于所述行駛組件與所述抓取組件之間，用于驅動所述抓取組件在豎直方向上移動。所述第一檢測裝置在水平方向上位于所述抓取組件的一側，并與所述抓取組件連接，用于檢測所述第一檢測裝置正下方的預設范圍內是否存在障礙物，且在所述第一檢測裝置正下方的預設范圍內存在障礙物時，發出第一信號。所述控制裝置，用于在接收到所述第一信號時，控制所述抓取組件保持松開狀態。

在本公開的一種示例性實施例中，所述天車裝置還包括第二檢測裝置。所述第二檢測裝置用于在所述抓取組件移動至所述預設位置時，發出第二信號。其中，所述控制裝置用于在接收到所述第二信號，且未接收到所述第一信號時，控制所述抓取組件抓取晶圓盒。

在本公開的一種示例性實施例中，所述天車裝置還包括警報裝置。所述警報裝置與所述控制裝置連接，所述控制裝置用于在接收到所述第一信號時，控制所述警報裝置發出警報。

在本公開的一種示例性實施例中，所述警報裝置為蜂鳴器或警示燈。

在本公開的一種示例性實施例中，所述行駛組件形成有朝向所述抓取組件開放的容置空間，所述抓取組件以及所述抓取組件抓取的所述晶圓盒能夠容置于所述容置空間內。

在本公開的一種示例性實施例中，所述行駛組件形成有兩個朝遠離所述行駛組件的方向延伸的延伸部，兩個所述延伸部之間的區域構成所述容置空間，其中，所述遠離所述行駛組件的方向與所述豎直方向平行。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一檢測裝置為光電傳感器。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一檢測裝置固定或可拆卸地連接于所述抓取組件。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第二檢測裝置為位置傳感器。

在本公開的一種示例性實施例中，所述升降機構包括牽引繩和收放裝置。所述牽引繩的一端連接于所述抓取組件。所述收放裝置固定于所述行駛組件，并與所述牽引繩的另一端連接，用于收或放所述牽引繩。

根據本公開的一個方面，提供一種物料搬送裝置，包括軌道和上述任一項所述的天車裝置。所述軌道懸空設置。所述行駛組件能夠沿著所述軌道移動。