[實用新型]反應腔室壓力調節裝置

有效

• 申請號: 201821845880.2
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN209086763U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 王祎;幺曼實
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: G05D16/20
• 分類號: G05D16/20
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;王立民

本實用新型公開了一種反應腔室壓力調節裝置，包括均與反應腔室連通的進氣管路、主出氣管路和旁出氣管路；所述進氣管路中設置有進氣閥；所述主出氣管路中設置有第一出氣閥；所述旁出氣管路中設置有第二出氣閥；所述旁出氣管路的至少一部分的內徑小于所述主出氣管路的內徑。本實用新型提供的反應腔室壓力調節裝置，通過設置進氣閥、第一出氣閥、第二出氣閥來和進氣比例閥對反應腔室內部的壓力進行調節，并通過設置旁出氣管路的至少一部分的內徑小于主出氣管路的內徑來實現旁路抽氣的限流，配合進氣比例閥對進氣的流量控制，使反應腔室內部的壓力始終保持在動態平衡的狀態，與現有技術相比，提高了腔室壓力調節的反應速度和調節精度。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池的芯片制造技術，尤其涉及一種反應腔室壓力調節裝置。

背景技術

在半導體的制造中，在不同的溫度區間，不同的工藝氣體成分、壓力，晶圓表面薄膜所呈現的物理、化學狀態有著極大的差異性。為了在晶圓上生成均勻的薄膜，要求腔室所進入的工藝氣體是穩定、均勻的。

現有的腔室壓力調節大多是通過改變腔室內體積來或者是改變連接真空泵抽空管路的流速通導來實現，這兩種方法的誤差較大，且反應速度較慢。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種反應腔室壓力調節裝置，以解決現有技術中反應腔室壓力調節反應慢、精度低的問題，提高腔室壓力調節的反應速度和調節精度。

本實用新型提供了一種反應腔室壓力調節裝置，其中，包括均與反應腔室連通的進氣管路、主出氣管路和旁出氣管路；所述進氣管路中設置有進氣閥；所述主出氣管路中設置有第一出氣閥；所述旁出氣管路中設置有第二出氣閥；

所述旁出氣管路的至少一部分的內徑小于所述主出氣管路的內徑。

優選地，整個旁出氣管路的內徑均小于所述主出氣管路的內徑。

優選地，所述旁出氣管路中套設有小孔部，所述小孔部具有中心孔，所述中心孔的孔徑小于所述旁出氣管路的內徑。

優選地，所述小孔部為金屬密封圈。

優選地，所述中心孔的孔徑為0.1-2mm。

優選地，還包括真空泵，所述真空泵分別與所述主出氣管路遠離反應腔室的抽氣口和所述旁出氣管路遠離反應腔室的抽氣口相連通。

優選地，所述進氣管路中還設置有進氣比例閥。

優選地，還包括壓力測量計，所述壓力測量計與所述反應腔室相通；

所述反應腔室壓力調節裝置還包括控制單元，用于根據所述壓力測量計測得的反應腔室的壓力，控制所述進氣比例閥的開度以及控制所述第一出氣閥、第二出氣閥和進氣閥的啟閉。

優選地，還包括過濾器，設置在所述進氣管路中。

優選地，所述進氣閥、第一出氣閥和第二出氣閥為電磁閥或氣動閥。

本實用新型提供的反應腔室壓力調節裝置通過設置進氣閥、第一出氣閥和第二出氣閥來對反應腔室內部的壓力進行調節，并通過設置旁出氣管路的至少一部分的內徑小于主出氣管路的內徑來實現旁路抽氣的限流，配合進氣比例閥對進氣的流量控制，使反應腔室內部的壓力始終保持在動態平衡的狀態，與現有技術相比，提高了腔室壓力調節的反應速度和調節精度。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例一提供的反應腔室壓力調節裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例二提供的反應腔室壓力調節裝置的結構示意圖；

圖3為小孔部的結構斷面圖。

附圖標記說明：