[實用新型]真空紅外加熱裝置

有效

• 申請號: 201821844603.X
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN209593773U
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 李金蕾
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H05B3/00
• 分類號: H05B3/00
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;周放

本實用新型公開了一種真空紅外加熱裝置，包括：腔體；載板，設置在所述腔體內；紅外加熱燈，設置在所述腔體內，用于加熱所述載板；調整組件，用于調整所述紅外加熱燈在所述腔體內的位置。本實用新型提供的真空紅外加熱裝置通過設置調整組件來調整紅外加熱燈在腔體內的位置，在進行芯片加工時，能實時地進行溫度調整，以實現對芯片的最佳加熱效果，改善了芯片的工藝性能。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池制造技術，尤其涉及一種真空紅外加熱裝置。

背景技術

隨著半導體行業的發展，真空紅外加熱裝置被廣泛地應用在很多工藝環節中。

現有技術中的真空紅外加熱裝置包括腔體，在腔體內設置有載板和紅外加熱燈組，載板上承載晶片，紅外加熱燈組紅外加熱燈，用于加熱載板上的晶片。

但是，現有技術中，紅外加熱燈的位置固定不動，導致對載板加熱會產生加熱不均的現象。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種真空紅外加熱裝置，以解決現有技術中載板受熱不均的問題，提高載板受熱的均勻性，改善芯片的工藝性能。

本實用新型提供了一種真空紅外加熱裝置，其中，包括：

腔體；

載板，設置在所述腔體內；

紅外加熱燈，設置在所述腔體內，用于加熱所述載板；

調整組件，用于調整所述紅外加熱燈在所述腔體內的位置。

優選地，所述調整組件包括把手和連接件；

所述把手固定在所述腔體的側壁上；

所述連接件的第一端與所述把手相連，所述連接件的第二端與所述紅外加熱燈相連。

優選地，所述把手上設置有齒輪，所述連接件為齒條；

所述齒條的第一端與所述齒輪嚙合，所述齒條的第二端與所述紅外加熱燈相連。

優選地，所述紅外加熱燈外套設有密封塊；

所述齒條的第二端通過所述密封塊與所述紅外加熱燈相連。

優選地，所述紅外加熱燈的數量為三個，三個紅外加熱燈平行分布；所述齒條的數量為兩個；

所述把手設置在所述腔體的側壁的中間位置，并對應三個紅外加熱燈中間位置的紅外加熱燈；

兩個齒條的第一端均與所述齒輪嚙合，兩個齒條的第二端分別與兩個位于邊側的紅外加熱燈相連。

優選地，還包括反射屏，所述反射屏設置在所述腔體內，且罩設在所述紅外加熱燈的周圍。

優選地，還包括第一紅外測溫儀、第二紅外測溫儀和第三紅外測溫儀；

所述腔體的頂部設置有上蓋，所述腔體的底部設置有底板；

所述第一紅外測溫儀從所述上蓋伸入到所述腔體中；

所述第二紅外測溫儀從所述底板伸入到所述腔體中，且與所述第一紅外測溫儀相對；

所述第三紅外測溫儀從所述底板伸入到所述腔體中，且位于所述第二紅外測溫儀的旁側。

優選地，所述上蓋上設置有上冷卻板；所述底板上設置有下冷卻板；

所述上冷卻板和所述下冷卻板均與冷卻管路相連。

優選地，所述載板通過支撐件固定在所述下冷卻板上。

優選地，所述支撐件為高度可調的伸縮桿。