[實(shí)用新型]一種光纖溫度傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821844118.2 | 申請日： | 2018-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN208872432U | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃惠良;趙瑞申 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海鴻輝光通科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01K11/32 | 分類號： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 上海灣谷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 倪繼祖 |
| 地址： | 201822 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光纖準(zhǔn)直器 反射 插入損耗 接收光纖 光纖溫度傳感器 本實(shí)用新型 發(fā)射光纖 環(huán)境溫度變化 半導(dǎo)體工藝 角度變化 芯片制作 準(zhǔn)直光束 靈敏度 反射光 擴(kuò)束 無源 準(zhǔn)直 芯片 成熟 制造 生產(chǎn) | ||
1.一種光纖溫度傳感器，其特征在于，包括：
外殼；
安裝于所述外殼內(nèi)，將光信號準(zhǔn)直和擴(kuò)束的光纖準(zhǔn)直器；以及
安裝于所述外殼內(nèi)，將來自所述光纖準(zhǔn)直器的發(fā)射光纖的準(zhǔn)直光束反射到所述光纖準(zhǔn)直器的接收光纖的MEMS芯片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖溫度傳感器，其特征在于，所述MEMS芯片的反射角度隨溫度升高而變大。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖溫度傳感器，其特征在于，所述光纖準(zhǔn)直器是單纖的，發(fā)射光纖和接收光纖為同一根光纖。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖溫度傳感器，其特征在于，所述光纖準(zhǔn)直器是雙纖或者多纖的，發(fā)射光纖和接收光纖為不同的光纖。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖溫度傳感器，其特征在于，所述MEMS芯片包括底座、溫度應(yīng)變驅(qū)動臂和MEMS微鏡；
所述MEMS微鏡的工作面反射光線；
所述溫度應(yīng)變驅(qū)動臂連接底座和MEMS微鏡；初始狀態(tài)時，MEMS微鏡和底座平行，當(dāng)環(huán)境溫度變化時，溫度應(yīng)變驅(qū)動臂發(fā)生形變，驅(qū)動MEMS微鏡偏轉(zhuǎn)。
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