[實(shí)用新型]一種PVD機(jī)臺(tái)用防靜電玻璃頂針

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821841728.7
• 申請(qǐng)日: 2018-11-09
• 公開（公告）號(hào): CN209081975U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周磊;竇沛靜;丁媛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津市凌云精密機(jī)電有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種PVD機(jī)臺(tái)用防靜電玻璃頂針，包括頂針本體(1)，其特征在于：所述頂針本體(1)的頂端設(shè)置有凸臺(tái)(4)，且頂針本體(1)內(nèi)部的中間位置處開設(shè)有螺栓孔(8)，所述凸臺(tái)(4)內(nèi)部的中間位置處開設(shè)有滾珠槽(2)，所述滾珠槽(2)延伸至頂針本體(1)的內(nèi)部，且滾珠槽(2)的內(nèi)部安裝有滾珠(3)，所述頂針本體(1)的前后表壁均開設(shè)有限位槽(10)，且頂針本體(1)相鄰于限位槽(10)的兩側(cè)均對(duì)稱開設(shè)有兩個(gè)卡球孔(9)，所述頂針本體(1)的內(nèi)部?jī)蓚?cè)分別對(duì)稱開設(shè)有與兩個(gè)卡球孔(9)一一對(duì)應(yīng)的第一彈簧槽(7)和第二彈簧槽(13)，所述第一彈簧槽(7)內(nèi)部的底部通過第一固定座(12)固定連接有第一彈簧(5)，且第一彈簧(5)相對(duì)于第一固定座(12)的一端固定有第一限位板(11)，所述第一限位板(11)相對(duì)于第一彈簧(5)的一側(cè)安裝有第一卡球(6)，所述第二彈簧槽(13)的內(nèi)部底部通過第二固定座(17)固定連接有第二彈簧(15)，且第二彈簧(15)相對(duì)于第二固定座(17)的一端固定有第二限位板(16)，所述第二限位板(16)相對(duì)于第二彈簧(15)的一端安裝有第二卡球(14)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PVD機(jī)臺(tái)用防靜電玻璃頂針，其特征在于：所述螺栓孔(8)的長(zhǎng)度為頂針本體(1)長(zhǎng)度的三分之二。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PVD機(jī)臺(tái)用防靜電玻璃頂針，其特征在于：所述第一卡球(6)和第二卡球(14)均為半球形結(jié)構(gòu)，且第一卡球(6)和第二卡球(14)的截面直徑均小于卡球孔(9)的截面直徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PVD機(jī)臺(tái)用防靜電玻璃頂針，其特征在于：所述頂針本體(1)為一種圓柱體結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種PVD機(jī)臺(tái)用防靜電玻璃頂針，其特征在于：所述第一固定座(12)與第一限位板(11)通過第一彈簧(5)彈性連接，所述第二固定座(17)與第二限位板(16)通過第二彈簧(15)彈性連接。