[實用新型]一種金屬有機化合物供料控制系統

有效

• 申請號: 201821835207.0
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN209010596U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 白月東;周允紅;楊煒平;楊麗麗;朱亞安;譚懿嶸;吳剛
• 申請（專利權）人: 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
• 主分類號: C23C16/18
• 分類號: C23C16/18;C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 昆明祥和知識產權代理有限公司 53114
• 代理人: 張亦凡

1.一種金屬有機化合物供料控制系統，包括金屬有機化合物存儲罐(1)，其特征在于該金屬有機化合物存儲罐(1)頂部同時與載氣管道(2)與輸出管道(3)連通，其中：載氣管道(2)延伸至有機化合物存儲罐(1)底部上方，載氣管道(2)依次向外設置進氣手動閥(4)、單向止回閥(5)、一號三通氣動閥(6)和二號三通氣動閥(7)、電動壓力調節器(8)、載氣純化系統(9)和載氣顆粒過濾系統(10)；二號三通管道同時還與真空管道(11)連接，真空管道(11)上設置有氣動閥；輸出管道(3)上依次向外設置出氣手動閥(12)、三號三通氣動閥(13)、氣動閥以及反應腔室(14)；三號三通氣動閥(13)與一號三通氣動閥(6)相互連通。

2.如權利要求1所述的一種金屬有機化合物供料控制系統，其特征在于載氣純化系統(9)由水汽檢測儀(9-1)、水汽去除裝置(9-2)、氧氣檢測儀(9-3)、氧氣去除裝置(9-4)以及氣動閥組成：水汽檢測儀(9-1)和氧氣檢測儀(9-3)串聯在載氣管道(2)上，水汽檢測儀(9-1)和氧氣檢測儀(9-3)間還設置有間接管道，間接管道上設置水汽去除裝置(9-2)；氧氣檢測儀(9-3)和電動壓力調節器(8)間還設置有間接管道，間接管道上設置氧氣去除裝置(9-4)；所述的水汽檢測儀(9-1)、氧氣檢測儀(9-3)以及電動壓力調節器(8)間設置有氣動閥，水汽去除裝置(9-2)和氧氣去除裝置(9-4)的進氣端和出氣端均設置有氣動閥。

3.如權利要求1所述的一種金屬有機化合物供料控制系統，其特征在于載氣顆粒過濾系統(10)由激光粒子計數儀(10-1)、顆粒過濾器(10-2)以及氣動閥組成：激光粒子計數儀(10-1)串聯在載氣管道(2)上，激光粒子計數儀(10-1)和水汽檢測儀(9-1)間還設置有間接管道，間接管道上設置顆粒過濾器(10-2)；所述的激光粒子計數儀(10-1)和水汽檢測儀(9-1)間設置有氣動閥，顆粒過濾器(10-2)的進氣端和出氣端均設置有氣動閥。

4.如權利要求1所述的一種金屬有機化合物供料控制系統，其特征在于三號三通氣動閥(13)和氣動閥間的輸出管道(3)上設有質量流量計(15)。